作者单位
摘要
1 广东大湾区空天信息研究院,广东 广州 510530
2 武汉国家光电研究中心,湖北 武汉 430074
3 中国科学院大学,北京 100049
4 俄罗斯研究中心库尔恰托夫研究所,俄罗斯莫斯科 125047
极紫外光源在半导体制造中的掩模检测、显微成像以及光谱计量等环节中有着重要的应用。激光诱导放电等离子体是产生极紫外光源的重要技术手段之一,搭建了一套二氧化碳激光诱导放电产生锡等离子体的实验装置,对产生的极紫外光谱进行了收集探测,并结合辐射磁流体动力学模拟对极紫外的辐射特性进行了分析。实验对比了激光等离子体和放电等离子体的极紫外辐射特性的区别,发现放电电压对激光诱导放电等离子体极紫外光的带内辐射强度有着重要影响。模拟发现,当电压为15 kV时,极紫外辐射总能量达到65.0 mJ,转化效率达到0.23%,光谱纯度达到1.69%。
激光光学 激光诱导放电等离子体 极紫外光 辐射磁流体动力学 转化效率 
中国激光
2024, 51(7): 0701012
俞航航 1,2张志韬 1,2玄洪文 1,3,*
作者单位
摘要
1 广东大湾区空天信息研究院,广东 广州 510700
2 广东省太赫兹量子电磁学重点实验室,广东 广州 510700
3 中国科学院大学,北京 100049
深紫外激光具有光子能量高、波长短等特点,在激光加工、半导体光刻等领域中具有重要的应用价值。固体激光非线性频率变换是实现高功率、高相干性深紫外激光输出的主要方式之一。采用全固态532 nm激光作为基频光、国产商用CsLiB6O10(CLBO)晶体作为频率变换晶体,在基频光功率为34.2 W时,实现了平均功率为14 W、重复频率为100 kHz、脉冲宽度为1.8 ns的266 nm深紫外激光输出,光-光转换效率达到41%。该深紫外光源具有效率高、结构紧凑的优点,验证了国产商用CLBO晶体的实用性,可进一步获得更稳定、更高功率的深紫外激光输出。
激光器 深紫外激光 全固态激光 CsLiB6O10晶体 高功率 
中国激光
2024, 51(7): 0701020
赵智刚 1,2玄洪文 3,**王景冲 2丛振华 1,2[ ... ]刘兆军 1,2,*
作者单位
摘要
1 山东大学信息科学与工程学院, 山东省激光技术与应用重点实验室, 山东 青岛 266237
2 山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室, 山东 青岛 266237
3 广东大湾区空天信息研究院, 广东 广州 510700
4 东京大学物性研究所, 日本 千叶 277-8581

综述了真空紫外193 nm波段固体激光光源的发展情况,具体包括所涉及到的主要非线性晶体[偏硼酸钡(BBO)晶体、三硼酸锂(LBO)晶体、六硼酸铯锂(CLBO)晶体、氟代硼铍酸钾(KBBF)晶体等]的各类特性及其对比分析、近几十年来193 nm波段连续固体激光和脉冲固体激光的发展脉络、用于产生193 nm固体激光的各种基频光源组合,并对它们的优劣势进行了分类分析和对比。对影响非线性晶体紫外透过率和紫外激光输出功率的双光子吸收效应进行了描述,并对深紫外激光器中的激光诱导污染效应进行了描述,指出几类常用的避免或者缓解该效应的方法。最后对实现超高重复频率准连续真空紫外激光的难度和应当解决的问题进行了探讨。

深紫外 固体激光 真空紫外 非线性晶体 双光子吸收 激光诱导污染 
光学学报
2022, 42(11): 1134010
作者单位
摘要
深圳大学物理与光电工程学院, 广东 深圳 518060
火焰的速度测量是燃烧力学和流体诊断中的研究内容之一, 对于燃烧成分分析和推进动力学具有重要研究意义。 激光多普勒速度测量学测量精度高, 但由于测量过程本身的复杂性以及其在低速测量中的误差增大使得该方法的应用受到限制, 因而光热偏转光谱法在面向低中速流体测量时具有较好的实用价值。 光热偏转光谱法测速使用一束泵浦光入射到被测介质中, 由于流体介质中成分吸收光后形成热透镜分布, 当一束探测光入射到介质中时, 由于热透镜移动使探测光产生偏折, 通过测量探测光相对泵浦光的高度和信号偏转对应的飞行时间, 可得到流体的速度。 通过自建泵浦探测光热偏转实验装置, 使用单脉冲能量为20 mJ、 波长为355 nm的泵浦光和功率为2 mW、 波长为632.8 nm的连续探测激光对煤油火焰的不同位置进行了速度测量, 测量装置的空间分辨率为2×10-5 cm3。 对距煤油灯芯高度5, 8和11 mm处的火焰平面进行了速度测量, 得到了火焰对应的水平速度分布, 发现在接近火焰下方的位置, 同一水平面的火焰外部速度高于内部速度; 在接近火焰上方位置, 同一水平面的火焰内部速度高于外部速度; 同一平面的速度分布接近于抛物线形分布。 对距火焰中心±2 mm的三个竖直平面进行速度分布测量, 得到了对应竖直面的速度分布, 发现竖直中轴线上靠近火焰底部的点速度慢于两侧, 上部的速度快于两侧, 同上述水平速度分布测量得到的结论一致。 实验所测得的火焰速度在0.2~1.5 m·s-1之间。 通过使用单脉冲能量分别为20, 40和60 mJ泵浦激光, 分析了介质击穿在速度测量过程中引入的误差。 通过进一步优化系统信噪比, 光热偏转光谱法作为流体速度测量的有力工具将可实现对温度和浓度等参数的测量并用于燃烧诊断。
光热偏转光谱 火焰速度 差分测量 燃烧诊断 Photothermal deflection Flame speed Differential measurement Combustion diagnosis 
光谱学与光谱分析
2020, 40(11): 3353

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