中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
钽酸锂晶体具有优异的压电性能, 是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉, 成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试, 晶体透过率接近80%; 经X线摇摆测试, 其半高全峰宽(FWHM)为28.4″, 单晶性较好; 采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试, 居里温度偏差为4.4 ℃。声表面波性能测试结果表明, 钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求。
钽酸锂 晶体 提拉法 声表面波滤波器 lithium tantalate crystal Czochralski method SAW filter
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成功采用提拉法生长了尺寸80 mm×100 mm的Y方向钽酸镓镧压电晶体, 晶体整体透明、无包裹体。采用LCR电桥测量了晶体的相对介电常数, 采用谐振-反谐振法测量了压电应变常数。研究了头尾之间性能差异性, 头尾频率常数均匀性达到99.95%, 表明晶体存在良好的性能均匀性。此外, 还对(010)晶面进行了摇摆曲线和频率温度系数测试, 测得FHMW和TCF值分别为38.5″、1.23ppm/K。
钽酸镓镧 提拉法 压电性能 La3Ga5.5Ta0.5O14 Czochralski method piezoelectric property
