该文设计了一种具有高灵敏度、低交叉耦合的双轴谐振式微加速度计, 使用工型梁作为解耦梁, 通过微杠杆机构实现力的放大, 结构呈中心对称形式, 采用差分检测工作方式。通过仿真分析对结构进行优化并完成加速度计整体结构设计, 进而提高加速度计灵敏度, 降低交叉耦合。对加速度计结构进行模态分析、灵敏度分析、交叉耦合分析和谐响应分析, 结果表明, 在±20g量程范围内, x向标度因数为423.6 Hz/g, y向标度因数为421.8 Hz/g, x向交叉灵敏度为0.000 047%, y向交叉灵敏度为0.000 78%。仿真结果验证了所设计结构的可行性。

提出了一种基于微机械陀螺仪测控电路进行温度补偿的方法。介绍了本课题组自主研发的SHH17#陀螺结构，分析了温度变化对陀螺的影响，并对驱动和检测模态的谐振频率，品质因数以及标度因数和零偏进行了测试。分析了陀螺结构的动力学方程以及测控电路，指出了标度因数与驱动幅度和检测回路增益成正比，与两模态频差成反比。以热敏电阻为补偿元件在检测次级放大器中补偿标度因数，然后以直流叠加的方法在低通滤波器模块对零偏的温度系数和输出值进行了补偿，并介绍了补偿参数的配置方法。实验显示，经过温度补偿，标度因数和零偏的温度系数分别由393×10-6·℃-1和75(°)·h-1·℃-1减小到了73×10-6·℃-1和20(°)·h-1·℃-1，补偿后0 ℃零偏值由89.59 mV减小到7.33 mV，标度因数和零偏的温度系数分别减小了80%和73%。得到的结果证明了补偿方法的正确性和可行性。