作者单位
摘要
合肥工业大学,安徽 合肥 230011
文章介绍了目前较先进的光调制器件,并对各个光调制器件的基本原理、最简单模型、最简单数学原理、优缺点(特别是能否适应于规模化集成等)、发展现状(包括一部分发展史、现阶段状况和是否已经应用于工业实际)等进行了综合分析与比较,为学者或者工程人员们选择光调制器件提供参考。
光调制器件 基本原理 优点 集成 light modulator rationale model mathematical principle advantages and disadvantages 
现代显示
2013, 24(1-2): 17
作者单位
摘要
四川大学 纳米光子技术研究所,成都 610064
为了研究数字灰度光刻成像系统中栅格效应对像质的影响.在成像系统优化参量已有的研究基础上,综合考虑工作效率、光刻准确度、加工制造成本等因素,设计了一种能够有效消除数字灰度光刻成像栅格效应的光刻物镜.此光刻物镜技术指标为,数值孔径NA=0.3,工作波长λ=442 nm,倍率10×,分辨率R≤1.2 μm,焦深4 μm,且镜片数量少,光学加工、光学校装公差要求低.结果表明,该镜头完全满足数字灰度光刻高质量成像的需要.
无掩模光刻 反射光调制器件 光刻物镜 光学设计 Maskless lithography DMD Lithography lens Optical designing 
光子学报
2009, 38(1): 120

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