李晨 1,2,3,*李浩 1杨研伟 1
作者单位
摘要
1 陕西科技大学 机电工程学院,西安 710021
2 西安交通大学 机械工程学院,西安 710049
3 西安交通大学 精密微纳制造技术全国重点实验室,西安 710054
针对商用低精度惯性测量单元具有高成本、制造工艺复杂、废弃后污染环境、不能生物降解等缺点,提出一种低成本、可生物降解的木制惯性测量单元。该设计包含平衡振子和非平衡振子单元,分别用于测量3轴加速度和3轴角加速度。采用激光诱导石墨烯的工艺在木梁上制备应变传感器阵列,并形成多组惠斯顿电桥测量电路。结果表明:加速度方面,X轴灵敏度为0.006 mV/g,Y轴灵敏度为8.695×10-4 mV/g,Z轴灵敏度为0.200 mV/g;角加速度方面,X轴灵敏度为0.285 mV/(rad/s2),绕Y轴旋转的灵敏度为0.305 mV/(rad/s2),绕Z轴旋转的灵敏度为0.765 mV/(rad/s2)。与有限单元法仿真结果对比,实验测量误差在10%以内,且具有良好的重复测量精度。该惯性测量单元在木制船舶、木制载具、木制家具等方面具有潜在的应用前景。
惯性测量单元 激光诱导石墨烯 陀螺仪 加速度计 木材 Inertial measurement unit Laser induced graphene Gyroscope Accelerometer Wood 
光子学报
2024, 53(2): 0212005
作者单位
摘要
华中光电技术研究所- 武汉光电国家研究中心, 湖北 武汉 430223
基于光子晶体微腔的腔光机加速度计将机械谐振子及高品质因数光子晶体腔相结合, 其中的机械振子在机械震荡模式下对微弱力/位移敏感的特性, 可以实现极低的噪声水平, 理论上能够达到标准量子噪声极限, 是高精度加速度计的重要发展方向。对拉链式光子晶体腔光机加速度计的原理和结构特点进行分析, 设计了一种应用于加速度计的硅基拉链式光子晶体腔和机械振子结构。分析了拉链腔的结构参数对光学Q值的影响, 通过调节结构参数将光腔的谐振频率控制在195 THz附近, 并分析了机械振子和光腔的机械谐振特性, 光腔的有效质量为 30 pg, 加上机械振子后有效质量为3.1 ng, 光机耦合率达到GHz/nm量级, 为基于硅基拉链腔加速度计的制造和表征提供了指导。
微型光机电系统 加速度计 高精度 拉链腔 光子晶体 micro-optical electromechanical (MOEMS) accelerometer high precision zipper cavity photonic crystal 
光学与光电技术
2023, 21(6): 0106
作者单位
摘要
山东理工大学 交通与车辆工程学院,山东 淄博 255049
为了便于驱动谐振梁的反对称模态,提高加速度检测灵敏度,该文提出了一种分布式的电极驱动方式,利用分布式电极更易驱动谐振梁的反对称模态并检测信号。设计了弹性梁质量块系统,用作感知外部加速度的敏感质量,并将谐振梁作为测量加速度的敏感元件。建立了谐振梁前两阶动力学方程。实验测量了不同加速度下谐振梁一阶、二阶的频率变化。实验表明,二阶模态检测正向灵敏度比一阶模态检测正向灵敏度提高了49%,负向灵敏度提高了89%,且二阶模态品质因数是一阶模态品质因数的3.19倍。最后分析了偏置直流电压对灵敏度的影响:随着电压提高,正向加速度检测灵敏度提高,负向加速度检测灵敏度降低。
加速度计 灵敏度 谐振传感 反对称模态 MEMS MEMS accelerometer sensitivity resonant sensing antisymmetric mode 
压电与声光
2023, 45(5): 723
作者单位
摘要
1 北京信息科技大学 传感器重点实验室,北京100101
2 北京信息科技大学 自动化学院,北京100101
温度影响加速度计的性能,误差来源主要由石英材料及封装工艺产生的热应力引起。针对加速度计温度漂移现象,该文介绍了集成式石英谐振加速度计低温漂结构设计和补偿方法。首先通过对称的差分结构消除一阶温度系数,并进行工艺优化,降低封装工艺对谐振器产生的热应力;其次采用随机森林拟合算法建立温度模型来补偿加速度计的温漂。在-20~80 ℃温度范围内对加速度计样机进行温漂测试,结果表明,工艺优化及补偿后的样机偏置稳定性提高了一个数量级。
谐振式加速度计 差频 温度补偿 低温漂 随机森林 resonant accelerometer difference frequency temperature compensation low temperature drift random forest 
压电与声光
2023, 45(5): 719
王新宇 1,2,3阳洪 1,2,3宋军 1,2,3
作者单位
摘要
1 中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
2 重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心, 重庆 401332
3 重庆市固态惯性技术工程实验室, 重庆 401332
雷达测姿系统实际上是一种惯性导航系统, 长时间未标定会发生加速度计零位变化, 直接影响水平测量精度。针对此问题, 该文分析了系统误差机理及可观测性, 根据实际雷达天线的运动范围, 提出了一种免拆卸加速度计零位基准误差补偿方案。此方案的标定方法简便, 能够有效地识别并估计三轴加速度计的零位误差, 补偿后的动态水平基准精度由2′提升至0.5′, 适合在不方便拆卸的雷达车等大型设备上使用。
三轴加速度计 可观测性分析 免拆卸标定 triaxial accelerometer observability analysis disassembly-free calibration 
压电与声光
2023, 45(3): 471
李永伟 1,2郭晋秦 1,2,*乔俊福 1,2李峰 1,2[ ... ]闫莎莎 1,2
作者单位
摘要
1 太原工业学院 自动化系
2 太原工业学院 智能检测与控制工程(技术)研究中心, 太原 030008
研究了一种具有高灵敏度、小尺寸的四端梁结构的压阻式加速度计。利用有限元软件对不同悬臂梁、质量块尺寸的结构建立模型,并对该结构进行了灵敏度与应力分析、模态分析,以及动态响应分析。仿真研究结果表明,在50kg量程内,传感器轴向灵敏度达到7.40μV/g,横向灵敏度为0.33%,线性度为0.06%,响应时间为20.3μs,固有频率为111.2kHz。抗冲击性能能达到334000g,可以满足高g值环境下的测试需求,同时该研究为研制高性能传感器提供了一种准确且高效的仿真方法。
压阻 高g值加速度计 有限元仿真 piezoresistive high g accelerometers finite element simulation 
半导体光电
2023, 44(5): 690
作者单位
摘要
大连理工大学 高性能精密制造全国重点实验室,辽宁大连116085
悬丝摆式加速度计具有小型化、大量程和抗冲击的特点,在航空航天领域得到广泛的应用。其底座与摆组件的精密装配,目前仍以人工装配为主,具有装配精度差、悬丝张紧力不易控制,人工焊接时焊接参数难以保证、焊点质量不佳等问题,导致产品的良品率较低。为此,研发了一套悬丝摆式加速度计底座组件自动装配与焊接设备。根据零件特点与装配环境,采用视觉与力觉反馈控制,实现底座与摆组件位姿和悬丝张紧力的自动调整。基于C++语言,开发了分层架构的控制软件。设计温度反馈控制的焊接工艺流程与焊接策略,并通过有限元仿真与焊接实验进行验证。实验结果表明:该设备可实现自动装配与焊接功能,底座组件的装配精度与焊接质量符合技术指标要求,提高了产品质量。
加速度计底座组件 视觉与力觉反馈 分层架构软件 温度反馈 自动装配与焊接 accelerometer base assembly visual and force feedback hierarchical architecture software temperature feedback automatic welding 
光学 精密工程
2023, 31(16): 2395
作者单位
摘要
东南大学 仪器科学与工程学院, 江苏 南京 210096
为了给国内重力梯度仪的实物制造夯实理论基础, 该文主要研究了伞型全张量旋转加速度计重力梯度仪信号模拟的产生。通过半物理仿真实验模拟了伞型重力梯度仪的测量过程, 并对全张量重力梯度仿真系统进行性能测试。测试数据为MATLAB生成的理想状态下的伞型重力梯度仪三圆盘加速度计数据, 将该数据载入全张量重力梯度仿真系统中, 解调得到交叉和内联重力梯度分量, 经过线性运算得到测量坐标系下的全张量重力梯度值, 再进行坐标系转换, 得到平台坐标系下的重力梯度值。结果表明, 该仿真系统测量精度达到1E(1E=1×10-9 s-2)。
仪器仪表技术 半物理仿真 旋转加速度计 重力梯度 梯度解调 全张量 instrumentation technology semi-physical simulation rotational accelerometer gravity gradient gradient demodulation full tensor 
压电与声光
2023, 45(1): 144
作者单位
摘要
上海交通大学 电子信息与电气工程学院, 上海 723200
面剪切振动模式产生于[011]极化方向zxt-45°切型的压电单晶, 因具有高压电系数、高机械品质因数、高柔顺系数和低串扰效应等优点, 故面剪切模式成为小尺寸、高灵敏度压电传感器的理想选择, 在矢量水听器中有着良好的应用前景。该文通过分析面剪切模式振动原理, 推导了面剪切模式压电加速度计的电压灵敏度表达式。利用有限元分析软件构建面剪切加速度计模型, 研究结构参数对面剪切压电加速度计电压灵敏度和谐振频率的影响规律, 优化结构尺寸, 最终仿真得到面剪切加速度计开路电压灵敏度为389.72 mV/g, 工作频带为20 Hz~3 kHz, 横向灵敏度小于3.45%。研究结果表明, 与传统的剪切式加速度计相比, 所设计的面剪切式加速度计在质量块质量降低50%的同时, 电压灵敏度提高了11.6%, 这为降低水听器的平均密度、提升水声探测性能提供了新思路。
压电加速度计 压电单晶 面剪切模式 有限元仿真 高灵敏度 piezoelectric accelerometer piezoelectric single crystal face shear mode finite element simulation high sensitivity 
压电与声光
2023, 45(1): 117
作者单位
摘要
东南大学 仪器科学与工程学院, 江苏 南京 210096
该文设计了一种具有高灵敏度、低交叉耦合的双轴谐振式微加速度计, 使用工型梁作为解耦梁, 通过微杠杆机构实现力的放大, 结构呈中心对称形式, 采用差分检测工作方式。通过仿真分析对结构进行优化并完成加速度计整体结构设计, 进而提高加速度计灵敏度, 降低交叉耦合。对加速度计结构进行模态分析、灵敏度分析、交叉耦合分析和谐响应分析, 结果表明, 在±20g量程范围内, x向标度因数为423.6 Hz/g, y向标度因数为421.8 Hz/g, x向交叉灵敏度为0.000 047%, y向交叉灵敏度为0.000 78%。仿真结果验证了所设计结构的可行性。
双轴加速度计 高灵敏度 交叉耦合 有限元仿真 结构设计 biaxial accelerometer high sensitivity cross coupling finite element simulation structure design 
压电与声光
2023, 45(1): 112

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