作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
声表面波器件内连的主流工艺是硅铝丝超声键合,而跟部微损伤是该工艺最大的质量隐患。该文从超声键合原理和工艺技术出发,对造成跟部微损伤的影响因素进行了分析,并给出了相应的解决方案。该方案使声表面波器件的键合点跟部微损伤得到有效控制。
声表面波器件 超声键合 跟部微损伤 SAW device ultrasonic bonding heel micro-crack 
压电与声光
2023, 45(5): 682
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060
基于声表面波(SAW)滤波器技术,采用两级滤波器级联、滤波器环绕开关、多通道抗干扰布局等方法,实现了一种小型化、高阻带抑制组件的研制。实验结果表明,研制的多通道滤波组件尺寸为18 mm×15 mm×5 mm,其-3 dB带宽大于48 MHz,插入损耗小于7 dB,带内幅度波动小于1.5 dB,近端阻带抑制大于70 dBc,具有很好的实用性。
声表面波滤波器 级联 小型化 阻带抑制 surface acoustic wave filter cascade miniaturization stop-band suppression 
压电与声光
2023, 45(5): 677
作者单位
摘要
1 厦门理工学院 机械与汽车工程学院,福建 厦门361024
2 精密驱动与传动福建省高校重点实验室(厦门理工学院),福建 厦门361024
3 厦门市智能制造高端装备研究重点实验室,福建 厦门361024
4 集美大学 海洋装备与机械工程学院,福建 厦门361024
针对现有的雾化装置粒径分散较广及难以生成大量微米级与亚微米级液滴等问题,设计并加工了一种基于声表面波的液滴雾化装置。首先,利用COMSOL仿真软件对声表面波器件的结构建模并进行压电仿真分析,模拟声表面波的振动传播,得到其谐振频率为18.269 MHz。其次,基于声-压电耦合多物理场模拟声波在固-液界面的衍射,以及在液体中的传播过程。最后,加工声表面波雾化实验装置并进行液滴雾化实验,通过调整激励信号频率与输入功率实现了液滴的稳定雾化,对雾化后的液滴粒径分布进行测试。实验结果表明,当输入信号幅值为420 mV,谐振频率为19.259 MHz时,该装置生成大量微米级细小液滴,液滴粒径基本呈三峰分布,主要集中在3 μm、30 μm与500 μm。
声表面波 雾化 声流 有限元仿真 高频 微米级 surface acoustic wave atomization sound flow finite element simulation high frequency micron-scal 
压电与声光
2023, 45(5): 667
作者单位
摘要
1 西安电子科技大学 光电工程学院,陕西 西安 710071
2 国防科技大学 电子对抗学院红外与低温等离子体安徽省重点实验室,安徽 合肥 230037
该文从理论上仿真了切割方向为165°Y,传播方向为75°Y的LiNbO3晶体(简称165Y LN)的表面波声光调制器的场分布及其重叠积分、驱动功率随波导厚度变化的关系,并与其他切割方向的仿真结果进行了比较。该方向位于材料退耦面内,且在该面具有最大的机电耦合系数,是潜在的高性能切割方向。测试表明,165Y LN的TE模和TM模在低频区均有较低的驱动功率和较大的重叠积分带宽,可被用于制作具有高性能且对偏振不敏感的表面波声光器件。
声表面波器件 声光相互作用 重叠积分 驱动功率 surface acoustic wave devices acousto-optic interaction overlap integral LiNbO3 LiNbO3 driving power 
压电与声光
2023, 45(5): 657
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文设计了一款用于电子不停车收费系统(ETC)的声表面波(SAW)滤波器。该款滤波器采用3-1-3分节的电容加权结构和电极宽度控制(EWC)的换能器单元结构,基片材料为128°Y-X铌酸锂。通过对滤波器外围匹配电感、换能器反射指结构和膜厚的优化,实现了滤波器小插入损耗和高阻带抑制,制作滤波器的中心频率为40 MHz,插入损耗为-7.5 dB。该文突破常规设计方法,采用在扇形结构中换能器全抽指加权SAW滤波器的设计手段,使器件最终满足ETC项目使用要求。
声表面波滤波器(SAW) 扇形结构 电容加权 抽指加权 SAW filter fan-shape structure capacitance weighting withdrawal weighting 
压电与声光
2023, 45(6): 809
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
通过理论仿真, 该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构, 并基于该结构在42°Y-X LiTaO3压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz, 实测插入损耗1.05 dB, 低端带外抑制接近80 dB, 高端带外抑制接近65 dB, -1 dB带宽10.52 MHz, -3 dB带宽12.54 MHz, -40 dB带宽16.68 MHz, 矩形系数1.33。实测结果表明, 该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。
声表面波滤波器 纵向耦合谐振器 三换能器 SAW filter longitudinally- coupled resonator 3IDT 
压电与声光
2023, 45(3): 335
作者单位
摘要
1 北京无线电测量研究所, 北京100854
2 北京航天微电科技有限公司, 北京 100854
为了提高矩形系数, 该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型, 采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器, 并在36°Y-X LiTaO3和41°Y-X LiNbO3压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明, 滤波器的矩形系数分别为1.7和2, 测试与仿真结果基本吻合。
矩形系数 混合结构 声表面波 纵向耦合 谐振器 rectangle factor hybrid structure SAW longitudinally coupled resonator 
压电与声光
2023, 45(3): 331
作者单位
摘要
沈阳航空航天大学 电子信息工程学院, 辽宁 沈阳 110163
由于声表面波(SAW)测温技术因具有无源无线的特点而备受研究人员的广泛关注。该技术可应用在电缆接头内部的温度测量中, 但因受电缆接头材料和结构的影响, 使SAW测温信号传递受阻, 严重影响了温度信号的检测。该文基于DWG-630A型电缆接头的结构和材料, 设计了一款可用于电缆接头内部测温的天线。通过其理论分析、仿真及试验验证, 证明该设计切实可行。结果表明, 穿过电缆接头可传递SAW温度信号, 并在工作频段内具有良好的增益和辐射效果。
电缆接头 声表面波温度传感器 天线 cable joints surface acoustic wave (SAW) temperature sensor antenna HFSS HFSS 
压电与声光
2023, 45(2): 178
作者单位
摘要
电子科技大学 电子科学与工程学院, 四川 成都 611731
该文采用有限元法对“铌酸锂/苯并环丁烯(BCB)/聚酰亚胺”结构的柔性声表面波器件进行了研究。结果表明, 铌酸锂厚度为0.06λ~0.8λ(λ为周期)时, 不能激发稳定的瑞利波, 在此区间外可激发瑞利波。随着温度升高, 器件的谐振频率降低, 计算结果表明, 声速随温度变化是谐振频率下降的主要原因, 大于热膨胀引起的谐振频率变化。仿真结果为设计和制备柔性声表面波器件时合理选择压电薄膜厚度及衬底材料力学性能等参数提供了一定的理论依据。
柔性声表面波器件 铌酸锂/苯并环丁烯(BCB)/聚酰亚胺 有限元仿真 温度 flexible surface acoustic wave device lithium niobate /benzocyclobutene(BCB)/ polyimide finite element simulation temperature 
压电与声光
2023, 45(2): 169
作者单位
摘要
1 中国电子科技集团公司 第二十六研究所, 重庆 400060
2 模拟集成电路国家重点实验室, 重庆 400060
针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题, 该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台, 结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术, 利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器, 色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器, 实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42° Y-XLiTaO3常规SAW滤波器的优化设计与研制, 设计优化结果与实验结果吻合较好, 验证了该方法的有效性和可行性。
声表面波(SAW)滤波器 全波仿真 分层级联 遗传算法 surface acoustic wave(SAW) filter full-wave simulation hierarchical cascade genetic algorithm 
压电与声光
2023, 45(2): 165

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