中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060
基于声表面波(SAW)滤波器技术，采用两级滤波器级联、滤波器环绕开关、多通道抗干扰布局等方法，实现了一种小型化、高阻带抑制组件的研制。实验结果表明，研制的多通道滤波组件尺寸为18 mm×15 mm×5 mm，其-3 dB带宽大于48 MHz，插入损耗小于7 dB，带内幅度波动小于1.5 dB，近端阻带抑制大于70 dBc，具有很好的实用性。
声表面波滤波器 级联 小型化 阻带抑制 surface acoustic wave filter cascade miniaturization stop-band suppression
中国电子科技集团公司 第二十六研究所，重庆 400060
该文设计了一款用于电子不停车收费系统(ETC)的声表面波(SAW)滤波器。该款滤波器采用3-1-3分节的电容加权结构和电极宽度控制(EWC)的换能器单元结构，基片材料为128°Y-X铌酸锂。通过对滤波器外围匹配电感、换能器反射指结构和膜厚的优化，实现了滤波器小插入损耗和高阻带抑制，制作滤波器的中心频率为40 MHz，插入损耗为-7.5 dB。该文突破常规设计方法，采用在扇形结构中换能器全抽指加权SAW滤波器的设计手段，使器件最终满足ETC项目使用要求。
声表面波滤波器(SAW) 扇形结构 电容加权 抽指加权 SAW filter fan-shape structure capacitance weighting withdrawal weighting
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
通过理论仿真, 该文研制了一种改进型的3IDT-LCR结构, 并基于该结构在42°Y-X LiTaO3压电基片上研制出一种低损耗、小矩形系数的SAW滤波器。滤波器标称频率为253.75 MHz, 实测插入损耗1.05 dB, 低端带外抑制接近80 dB, 高端带外抑制接近65 dB, -1 dB带宽10.52 MHz, -3 dB带宽12.54 MHz, -40 dB带宽16.68 MHz, 矩形系数1.33。实测结果表明, 该改进型3IDT-LCR结构的SAW滤波器具备低插入损耗、小矩形系数和高带外抑制的特点。
声表面波滤波器 纵向耦合谐振器 三换能器 SAW filter longitudinally- coupled resonator 3IDT
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
钽酸锂晶体具有优异的压电性能, 是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉, 成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试, 晶体透过率接近80%; 经X线摇摆测试, 其半高全峰宽(FWHM)为28.4″, 单晶性较好; 采用差热分析仪对生长的晶体头尾进行居里温度测试, 居里温度偏差为4.4 ℃。声表面波性能测试结果表明, 钽酸锂晶体的声表面波速度、机电耦合系数和频率温度系数等指标均满足SAW滤波器的使用要求。
钽酸锂 晶体 提拉法 声表面波滤波器 lithium tantalate crystal Czochralski method SAW filter
1 北京中科飞鸿科技股份有限公司，北京100095
2 中国科学院声学研究所，北京100190
使用结构为42°Y-X LiTaO3(600 nm)/SiO2(500 nm)/Si的SOI衬底，通过抑制横向模式等优化设计，研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试，谐振器的谐振频率为1.5 GHz，品质因数(Q)值高达4 000；滤波器的中心频率为1 370 MHz，插入损耗为-1.2 dB，1 dB带宽为74 MHz，相对带宽达到5.4%，阻带抑制大于40 dB，且温度系数在-55~+85 ℃时优于-9×10-6/℃。该产品具有高频、宽带、低损耗、低温漂、高阻带抑制的特点，其性能指标优异，具有很好的实用性。
SOI衬底 大带宽 横向模式 谐振器 声表面波滤波器 SOI substrate wide bandwidth transverse mode resonator surface acoustic wave filter
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 40060
介绍了一种可满足第二代北斗客户端用B3波段载频滤波的声表面波(SAW)射频滤波器。该滤波器采用“5换能器纵向耦合结构＋谐振器”的混合型设计方案, 在充分考虑了SMD3030A封装及键合引线寄生影响后, 成功研制出-1 dB带宽35 MHz、插入损耗2.2 dB、矩形系数1.9的滤波器产品。结果表明, 仿真与实测吻合性较好, 证明了该设计方案的可行性。
声表面波滤波器 纵向耦合结构 第二代北斗 B3波段 SAW filter longitudinal coupling structure 2nd generation Beidou B3 band
1 北京无线电测量研究所,北京 100854
2 北京航天微电科技有限公司,北京 100854
在传统的抽指加权技术基础上，该文提出了一种自适应抽指加权技术。通过计算确定抽指加权的起始位置和加权数值，能对切趾换能器进行部分指条的抽指加权。研究结果表明，根据该文提出方法研制的一款声表面波滤波器，其频率为61, 60 MHz，-1 dB相对带宽为3, 7％，带外抑制大于45 dB，矩形度为1, 4，器件的综合性能得到改善。
抽指加权 自适应 切趾 加权位置 加权数值 声表面波滤波器 withdrawal weighted adaptive apodization weighted position weighted value SAW filter
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文研究了基于层次级联模型的耦合模(COM)参数提取方法。通过仿真42°Y-X LiTaO3衬底的有限长声表面波(SAW)单端谐振器，提取COM参数及建立COM参数数据库，研制了一款1 200 MHz的三换能器混合结构的SAW滤波器。结果表明，实际制作器件响应和仿真幅频响应符合性好，验证了该文提取COM参数方法的可行性，可用于指导SAW滤波器设计。
声表面波滤波器 层次级联 耦合模(COM)参数 SAW filter hierarchical cascading COM parameter
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
该文研究了一种扇形结构的声表面波设计技术并分析了其工作原理及加权方式, 为某电台接收机设计并制作了一款中心频率为374 MHz、-3 dB带宽大于17 MHz、插入损耗小于9.5 dB、通带波纹小于1 dB、带外抑制大于40 dB(10～352 MHz)的器件。将该器件封装在表贴SMD3838小型外壳中, 其满足性能指标。结果表明, 该器件首次突破了扇形结构中频声表面波滤波器在表贴SMD3838封装的研制, 表明扇形结构声表面波滤波器产品实现小型化的可行性。
声表面波滤波器 扇形结构 电容加权 SMD3838封装 匹配电路 SAW filter sector structure capacitance weighting SMD3838 packaging matching circuit
中国电子科技集团公司第二十六研究所, 重庆 400060
该文介绍了一种双声通道纵向耦合结构的高频高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。利用有限元仿真研究了AT石英材料上高声速的声表面横波与浅体声波的激励情况, 并进行了浅体声波抑制研究。通过调节叉指换能器金属化比, 大幅降低了浅体声波对滤波器阻带抑制的影响, 并制作出中心频率为1 220 MHz, 插入损耗为5 dB、1 dB带宽700 kHz、阻带抑制50 dB的低损耗高阻带抑制极窄带声表面波滤波器。
声表面波滤波器 极窄带 声表面横波 SAW filter extremely narrow-band surface transverse wave
