作者单位
摘要
华北电力大学 电气与电子工程学院,北京 102206
光学电压传感器在温度稳定性方面仍有亟待解决的问题,一是电光晶体在温度变化时存在温度梯度,导致表面温度与光路温度不等;二是晶体物性参数也会受到温度影响。为此提出一种基于温度场与双卡尔曼滤波(Dual Kalman,D-Kalman)参数估计的温度补偿方法。以锗酸铋晶体为研究对象,在对传感器输出信号进行交直流分离的基础上,先利用半解析法建立晶体暂态温度场模型,再分别通过卡尔曼滤波与中心差分卡尔曼滤波实现对晶体内部温度和初始温度下晶体折射率的状态估计,最后将修正参数与传感器输出信号高频分量相结合计算补偿电压。实验结果表明,传感器在外界温度为[20 ℃,40 ℃]以0.5 ℃/min速率不断升高的环境下,暂态温度场解析式的仿真精度在0.02%以内,实验测量精度在0.2%左右,补偿输出电压测量精度优于0.52%。与同平台下反向传播神经网络温度补偿效果以及不同平台下的补偿效果相比,该方法提高了传感器测量精度。
光学电压传感器 温度稳定性 暂态温度场 卡尔曼滤波 中心差分卡尔曼滤波 Optical voltage sensor Temperature stability Transient temperature field Kalman filter Center differential Kalman filter 
光子学报
2024, 53(2): 0212002
汪晖 1温秋玲 1,2,*黄辉 1,2黄国钦 1,2[ ... ]吴贤 3
作者单位
摘要
1 华侨大学 制造工程研究院,厦门 361021
2 高性能工具全国重点实验室,厦门 361021
3 华侨大学 机电及自动化学院,厦门 361021
为探究飞秒激光烧蚀金刚石的烧蚀特征及机理,进行了飞秒激光加工CVD单晶金刚石实验及温度场仿真模拟研究。研究了飞秒激光能量密度、扫描速度、扫描次数对金刚石烧蚀区内纳米结构的影响。研究表明,金刚石被加工区域出现了沿着110晶向的微裂纹,在微槽边缘区域形成了周期为100~230 nm的纳米条纹,微槽中心区域形成了周期为460~640 nm的纳米条纹,且纳米条纹的形貌与激光加工参数密切相关。通过实验获得了金刚石的烧蚀阈值为3.20 J/cm2,且当激光能量密度为24.34 J/cm2时,金刚石的烧蚀速率为44.8 nm/pulse,材料去除率为4.34×10-10 g/pulse。拉曼检测发现,微槽底部的金刚石发生了石墨化,理论计算的石墨层厚度为11.1 nm。根据不同激光能量密度下拉曼峰的频移计算飞秒激光辐照后金刚石微槽内的残余应力,当激光能量密度增加至24.34 J/cm2时,残余拉应力增大至1 389 MPa。温度场仿真结果表明,飞秒激光加工金刚石的材料去除主要是以金刚石升华为主,且飞秒激光辐照能量大多集中在金刚石的表层,几乎不会通过热传导扩散到金刚石内部。
飞秒激光烧蚀 CVD单晶金刚石 纳米条纹 烧蚀速率 石墨化 残余应力 温度场 Femtosecond laser ablation CVD single crystal diamond Nano-ripples Ablation rate Graphitization Residual stress Temperature field 
光子学报
2023, 52(12): 1214001
作者单位
摘要
1 桂林理工大学环境科学与工程学院, 广西 桂林 541004
2 中国人民解放军军事科学院防化研究院, 北京 102205
乙腈广泛应用于医药、 化工等领域, 而乙腈属于易燃易爆化学品, 其引发的火灾事故具有极大的危害。 研究乙腈燃烧的温度场与浓度场、 火焰辐射光谱以探究其火灾污染特性具有重要实用价值。 首先采用平面激光诱导荧光技术(PLIF)与Fluent数值模拟方法, 获取了5 cm尺度乙腈池火燃烧产物NO在20、 40、 60和80 s时刻的空间浓度值, 并结合CFD与FDS仿真模拟获取了不同时刻下乙腈燃烧温度场与浓度场信息。 其次, 采用所获取的乙腈火焰温度场和浓度场数据(将火焰划分为6个热力学平衡区域), 并基于HITRAN数据库内高温气体分子吸收系数与火焰总体辐射传输方程构建了乙腈火焰光谱辐射模型。 再次, 将所得乙腈浓度场与温度场数据代入火焰光谱辐射模型, 模型模拟计算结果与相同条件下乙腈火焰光谱实测数据进行对比, 以验证模型精度, 然后再与Radcal模型进行精度对比。 最后, 利用自行构建的火焰光谱辐射模型对燃烧特征污染产物NO进行了浓度反演。 结果表明: (1)5 cm尺度乙腈池火火焰温度范围为400~1 000 K, 在池火上方60~80 mm区域温度较高, 最高温度为945 K。 (2)在20、 40、 60和80 s时刻下5 cm乙腈池火燃烧产物NO的体积分数为0.005%~0.025 5%, H2O的体积分数为0.034 5%~0.062 5%, CO2的体积分数为0.055 5%~0.085 5%。 (3)自行构建了乙腈火焰光谱辐射模型, 模型模拟值与实测值对比得出, 燃烧产物中CO2特征峰处准确度最小为86.8%, 最大为88.7%; NO特征峰处准确度最小为79.6%, 最大为84.9%; H2O特征峰处准确度最小为84.6%, 最大为89.1%。 与Radcal模型计算的光谱辐射值进行对比, 自行构建的模型计算精度提升约10%。 (4)在5.62~5.66 μm主导波段, 乙腈燃烧特征产物NO在20、 40、 60和80 s时刻下的浓度反演精度分别为76.9%、 78.5%、 94.7%和81.3%。 此研究可为探测大尺度乙腈类化学品火灾的燃烧场信息以及遥感定量反演燃烧污染产物浓度提供基础与参考。
乙腈池火 燃烧浓度场 燃烧温度场 火焰光谱辐射模型 浓度反演 Acetonitrile pool fire Combustion concentration field Combustion temperature field Flame spectral radiation model Concentration inversion 
光谱学与光谱分析
2023, 43(12): 3690
作者单位
摘要
1 山西大学自动化与软件学院,山西 太原 030006
2 西安航空职业技术学院航空高端制造工程研究中心,陕西 西安 710089
为改善熔覆层显微组织结构,强化42CrMo表面性能,基于42CrMo基材多道熔覆H13-TiC复合粉末,采用数值模拟与熔覆试验相结合的方式,探究不同熔覆功率下的温度对熔覆层显微组织和显微硬度的影响机理。基于材料性能的温变性构建激光熔覆模型,分析功率对熔覆层表面温度场以及残余应力场的影响机制。针对实验获得的H13-TiC复合熔覆层,采用扫描电镜分析其显微结构以及元素分布,研究TiC颗粒的形态分布与显微硬度之间的关系。结果表明:激光功率在2000 W增大至2850 W的过程中,第三条轨道熔覆状态下的温度峰值提升34.4%,2850 W时高达3471.53 ℃;轨道表面的残余应力呈现中间大两头小的分布规律。熔覆层内部TiC细小颗粒的数量随温度升高而逐渐增加,功率为2850 W时,TiC细小颗粒弥散较为均匀,TiC聚集区以外区域的显微硬度提升33%~50%。通过分析功率增大过程中轨道间温度场和残余应力场的变化规律,改善和提升了熔覆层显微组织结构和显微硬度,为激光熔覆技术在截齿材质42CrMo的应用方面提供了理论依据。
激光功率 温度场 残余应力场 熔覆层显微组织 熔覆层显微硬度 
激光与光电子学进展
2023, 60(21): 2114001
许缉熙 1,2王欣 1唐景平 1陈伟 1,*[ ... ]胡丽丽 1
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海 201800
2 中国科学院大学,北京 100049
钕玻璃激光放大片在热恢复后的剩余温度场对于光束退偏和波前畸变具有重要的影响。当冷却过程中出现不对称情形,将导致剩余温度场的不对称,从而影响到高功率激光光束发次之间的重复性。本文在对N41型钕玻璃四周包边侧弱冷和强冷所导致的剩余温度场分布特征进行模拟分析的基础上,重点研究了包边侧不对称冷却所导致的剩余温度场的变化。这种变化的程度与钕玻璃四周包边侧冷却的强弱有关,并进一步分析了由弱冷转为强冷时钕玻璃激光放大片的通光面和四周包边界面上各自的散热量。
材料 钕玻璃主放大片 有限元模拟 剩余温度场 不对称冷却 光束稳定性 
激光与光电子学进展
2023, 60(21): 2116001
作者单位
摘要
1 江西理工大学 机电工程学院,江西 赣州 341000
2 陆军装甲兵学院 装备再制造技术国防科技重点实验室,北京 100072
3 中国人民解放军 65426部队,山东 潍坊 261000
4 陆军装甲兵学院 机械产品再制造国家工程研究中心,北京 100072
针对激光热成像技术定量检测铝合金表面微小裂纹宽度精度不足的问题,通过系统分析表面裂纹处热传导规律,并构建长脉冲激光激励条件下铝合金表面裂纹位置处准稳态温度场的温度分布模型,发现沿激光线方向的温度分布能够定量表征裂纹宽度。搭建了激光红外热成像试验平台并进行试验,获得了准稳态温度场下的温升分布规律,分析了不同宽度裂纹的温升分布特征和温升变化特征,基于温升分布特征参量和温升变化特征参量,采用比值定义法构建了不依赖激光功率的裂纹宽度综合指标。结果表明,所构建的空域特征参量综合指标显著提高了裂纹宽度检测的可靠性和准确性,能够实现50~700 μm宽度裂纹的定量检测,该结果能够为实现激光红外热成像技术在航空航天裂纹量化检测的应用奠定坚实基础。
激光长脉冲热成像 准稳态温度场 裂纹宽度 温升分布 温升变化 laser long pulse thermography quasi-steady temperature field crack width temperature rise distribution temperature rise variation 
红外与激光工程
2023, 52(9): 20220902
作者单位
摘要
1 广东工业大学 物理与光电工程学院,广州 510006
2 广东工业大学 机电工程学院,激光微纳加工研究中心,广州 510006
3 广东工业大学 实验教学部,广州 510006
为了在透明基板上制备出导电性能良好的微电路,研究了窄脉宽激光正向和背向选择性去除金属薄膜制备的微结构形貌特征,开展了纳秒激光选择性去除Cu薄膜(厚度为150 nm)的实验和温度场仿真研究,揭示了正、背面去除的烧蚀机理和材料的喷射机制。实验结果表明,当激光脉冲能量为0.270~0.542 μJ,扫描速度为2 mm/s时,激光诱导背向去除金属薄膜在加工质量方面优于正向加工,其去除几何精度高,轮廓边缘平整,几乎没有溅射。采用优化后的纳秒激光加工工艺参数,激光脉冲能量为0.403 μJ,扫描速度2 mm/s,扫描线间距为3 μm,制备出均匀分布的铜阵列图案。在相同参数下对玻璃基板上的铜薄膜背向选择性去除,得到具有良好导电性和粘附性的微电路。
窄脉宽激光 背面去除 温度场仿真 金属薄膜 微电路 Narrow pulse width laser Reverse removal Temperature field simulation Mental thin film Microcircuit 
光子学报
2023, 52(7): 0752306
张耿 1,*陈桦 1,2
作者单位
摘要
1 西安工业大学机电工程学院,陕西 西安 710021
2 精密与超精密加工及测量国家地方联合工程研究中心,陕西 西安 710021
基于冻结浆料的分层实体制造方法在多孔陶瓷3D打印领域具有应用潜力。为了研究冻结陶瓷浆料的激光切割过程,建立了CO2激光面热源热传导数学模型,采用COMSOL有限元仿真模拟激光扫描加热过程,以纯冰为理想材料,结合实验研究建立激光切割深度数学模型。结果表明,冻结陶瓷浆料的激光切割过程与传统非金属材料相似,“V”字形的气化切割区深度随激光能量密度的增大而增大;由于陶瓷颗粒的吸热和散射作用,在冻结陶瓷浆料切割区下方存在热影响过渡区,实际切割深度与纯冰激光切割理论深度存在差异,在理论模型中引入材料特性相关修正系数后可较好地符合实际切割规律,为冻结陶瓷浆料激光切割工艺参数选择提供了参考。
材料 激光切割 冻结材料 温度场 陶瓷浆料 3D打印 
激光与光电子学进展
2023, 60(15): 1516003
作者单位
摘要
1 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司, 宁夏半导体级硅晶圆材料工程技术研究中心,银川 750021
2 厦门大学材料学院, 厦门市电子陶瓷材料与元器件重点实验室, 厦门 361005
3 厦门大学深圳研究院, 深圳 518063
半导体级单晶硅是芯片的基础核心材料, 其晶体的氧含量分布对晶圆品质有重要影响。通过优化提拉单晶炉的热屏结构可有效控制晶体生长过程中的氧含量分布, 但难以通过实验探究其内在影响机制。本文采用ANSYS有限元分析, 研究了热屏结构对200 mm半导体级直拉单晶硅氧含量分布的影响。针对一段式、二段式两种典型的商用单晶炉热屏结构, 模拟了拉晶初期(300 mm)、中期(800 mm)、末期(1 000 mm)三个等径阶段的温度场、流场分布, 固液界面温度梯度及径向氧含量分布。计算结果表明, 与二段式热屏相比, 一段式热屏的熔体温度场均一性较好, 固液界面的温度梯度较小。此外, 一段式热屏的氩气流场有利于熔体自由表面上方SiO气体挥发和减弱熔体的剪切对流, 使固液界面前端向晶体扩散的氧减少。因此, 一段式热屏的固液界面径向氧含量分布均匀性较好且晶体中的氧含量较低。
半导体级单晶硅 氧含量 有限元分析 热屏结构 温度场 流场 semiconductor-grade monocrystalline silicon oxygen content finite element analysis heat shield structure temperature field flow field 
人工晶体学报
2023, 52(6): 1110
王少业 1,2,3张剑波 1,2,3赵子文 1,2,3,*杜亦凡 1,2,3钟双栖 1,2,3
作者单位
摘要
1 上海大学特种光纤与光接入网重点实验室,上海 200444
2 上海大学特种光纤与先进通信国际合作联合实验室,上海 200444
3 上海大学上海先进通信与数据科学研究院,上海 200444
采用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件模拟不同功率、不同扫描速度的CO2激光退火锗芯光纤过程中的温度场分布。通过分析激光退火过程中光纤温度场的分布和变化,得到较为适合的激光退火条件。结合退火后锗芯光纤的拉曼光谱测试,发现对于外径和内径分别为190 μm和28 μm的锗芯光纤而言,在所有退火条件中,2.153 W激光功率、6 mm/s扫描速度能明显改善光纤性能。本仿真研究为优化锗芯光纤特性的实验提供了参考。
光纤光学 锗芯光纤 COMSOL仿真 CO2激光 温度场分布 
激光与光电子学进展
2023, 60(15): 1506005

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