刘清权 1,3关学昱 1,3,4崔恒毅 1,3,4王少伟 1,3,4,*陆卫 1,2,3,4,**
作者单位
摘要
1 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
2 上海科技大学物质科学与技术学院,上海 201210
3 上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心,上海 200083
4 中国科学院大学,北京 100049
法布里-珀罗(F-P)微腔作为基础的光学谐振器,因其结构设计方法成熟、品质因子高等特性,在近现代光学领域中具有举足轻重的地位。近年来,随着微纳加工技术的不断成熟,F-P微腔进入了一个新的发展阶段,其结构展现出集成化、多样化、功能定制化的特点,其应用领域也得到进一步拓展。本文总结了近20年来F-P微腔在光场调控领域的研究进展,重点介绍了基于F-P微腔的分光结构及光谱探测应用、F-P微腔中光子与低维材料相互作用的研究,以及F-P微腔在参数精密测量、生物检测、多维光场调控等方面的潜在应用,并对未来F-P微腔的发展及新的应用前景进行了展望。
光学器件 法布里-珀罗微腔 微型光谱仪 低维材料 精密测量 光场调控 耦合 optical devices Fabry-Pérot microcavity miniature spectrometer low-dimensional materials precision measurement optical field control coupling 
光学学报
2023, 43(16): 1623009
作者单位
摘要
太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西 太原 030024
主要研究了基于CO2激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO2激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042~0.64 μm,半峰全宽范围为11.30~16.60 μm;结构底部可近似为球面。随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔。最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生。
激光光学 法布里-珀罗微腔 微腔阵列 CO2激光烧蚀 光学掩模 光微流激光 laser optics Fabry-Pérot microcavity microcavity array CO2 laser ablation optical mask optofluidic laser 
激光与光电子学进展
2020, 57(23): 231404

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