激光与光电子学进展
2023, 60(18): 1811013
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心, 吉林长春130033
为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨，设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器，并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明，与传统显微光学系统相比，加入泽尼克位相型光瞳滤波器后，系统景深延拓了4.15倍，分辨率提升了1.3倍。同时，与其他两种形式的光瞳滤波器进行了比较，进一步说明了泽尼克位相型光瞳滤波器的优势。设计的泽尼克位相型光瞳滤波器在疵病的显微检测中具有一定的实际意义和应用价值。
成像系统 光瞳滤波器 景深延拓 超分辨 泽尼克多项式 imaging systems phase pupil filter depth of field extending super-resolving Zernike polynomials 光学学报
2015, 35(12): 1211002
