张睿迪 1,2段亚轩 1,3达争尚 1,3,*
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所 先进光学仪器研究室,西安 710119
2 中国科学院大学,北京 100049
3 西安市高功率激光测量技术与仪器重点实验室,西安 710119
针对传统计算全息法生成的贝塞尔光束阵列均匀性差,能量利用率低的问题,提出了两种计算全息法,分别可以生成高质量的平行、发散贝塞尔光束阵列。提出多轴锥透镜相位并行拼接法,通过提高窗口的“口径利用率”,有效降低了光场的背景噪声,提高了能量利用率,仿真结果表明,所产生的3×3平行贝塞尔光束阵列均匀性为98.94%,衍射效率为78.12%;提出多透镜和轴锥透镜相位叠加法,通过多个透镜和轴锥透镜相位叠加来调控贝塞尔光束的数量和位置,透镜相位对贝塞尔光束起到聚焦的作用,可以在透镜后焦面附近得到中心光斑直径缩小的贝塞尔光束阵列,仿真结果表明,所产生的3×3发散贝塞尔光束阵列均匀性为97.95%,衍射效率为79.23%。实验采集了贝塞尔光束阵列沿传输方向120 mm,130 mm,140 mm位置处的图像,与仿真结果高度一致。相比于传统方法,本文所提方法产生的平行、发散贝塞尔光束阵列均匀性分别提高了2.97%和4.70%,衍射效率分别提高了48.22%和54.75%。
贝塞尔光束阵列 空间光调制器 相位叠加法 计算全息图 飞秒激光加工 Bessel beam array Spatial light modulator Phase superposition method Computer generated hologram Femtosecond laser processing 
光子学报
2023, 52(9): 0909001
成健 1,2李嘉乐 1张志伟 1姜晟 1[ ... ]刘顿 1,2,*
作者单位
摘要
1 湖北工业大学 机械工程学院,武汉 430068
2 现代制造质量工程湖北省重点实验室,武汉 430068
为提升飞秒激光加工芳纶纤维复合材料制孔质量,优化制孔加工参数,进行了制孔试验。用共聚焦显微镜与超景深显微镜观察圆孔边沿形貌,并测量了热影响区大小。分析了激光功率、扫描速度和重复频率对圆孔的形貌、热影响区大小以及几何精度的影响,对比了激光制孔与机械制孔后材料的拉伸强度。研究发现,一定参数范围内,激光功率增加、重复频率降低或扫描速度减小使热影响区尺寸整体上逐渐变大。但激光功率不足导致的烧蚀不充分也会产生较大的热影响区与表面损伤。热影响区最优状态对应的激光参数为激光功率5 W,扫描速度1 050 mm/s,重复频率200 kHz。对比传统机械加工,飞秒激光加工后材料的拉伸强度波动性更小。结果表明,芳纶纤维复合材料的飞秒激光制孔加工不是完全的“冷”加工,由于芳纶纤维导热性差,热量累积造成纤维及纤维周边基材的热损伤,仍会导致较小的热影响区产生。采用合适激光参数的飞秒激光对芳纶纤维复合材料进行制孔加工,能有效提升制孔质量,满足相关领域精度和强度的要求。
激光加工 飞秒激光 激光制孔 芳纶纤维复合材料 表面质量 几何精度 拉伸性能 Laser processing Femtosecond laser Laser drilling Aramid fiber reinforced plastics Surface quality Geometric accuracy Tensile strength 
光子学报
2023, 52(7): 0752309
刘洋 1,2,3朱香平 1,2,3靳川 1,2,3张笑墨 1,2,3赵卫 1,2,3,*
作者单位
摘要
1 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119
2 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
3 中国科学院大学,北京 100049
采用钛蓝宝石飞秒激光加工系统在融石英表面诱导表面周期性微纳结构,研究了激光诱导表面周期结构的形成过程以及激光能量密度、脉冲数、光斑大小和脉冲的空间间隔对融石英表面激光诱导表面周期结构的形貌的影响。实验结果表明,飞秒激光在融石英表面可以诱导出周期性的亚波长结构,主要以垂直于激光偏振方向的光栅状结构为主,其周期在百纳米量级且具有更好的可复现性。在激光光斑控制在1 μm附近时,所得到的形貌具有较高的规则性。根据实验结果设计了聚焦高斯光斑低通量的加工方式。所制备的光栅结构具有200~300 nm的周期,平均深度约为300 nm。
飞秒激光加工 表面形貌 亚波长结构 融石英 周期性结构 Femtosecond laser processing Surface morphology Subwavelength structures Fused silica Periodic structure 
光子学报
2023, 52(7): 0752307
作者单位
摘要
华东师范大学 精密光谱科学与技术国家重点实验室,上海 200241
为了制备高质量表面周期结构,利用法布里-珀罗腔对飞秒激光进行时域整形,输出子脉冲间隔在1~300 ps内灵活可调的飞秒激光脉冲串,在硅表面诱导亚波长周期条纹。实验结果显示,利用飞秒激光脉冲串诱导得到的亚波长周期条纹明显优于原始高斯光诱导的亚波长周期条纹。利用子脉冲间隔为100 ps的脉冲串诱导的亚波长条纹最佳,条纹周期为1 008 nm,结构取向角为2.8°,边缘粗糙度为3.9 nm,可达到光刻工艺的标准。
激光加工 激光诱导表面周期结构 亚波长周期条纹 法布里-珀罗腔 飞秒激光脉冲串  Laser processing Laser induced periodic surface structures Near-subwavelength ripples Fabry-Perot cavity Femtosecond laser pulse train Si 
光子学报
2023, 52(7): 0752301
李磊 1,*王敬 1黄磊 2郑宏宇 1,**[ ... ]王浪平 3
作者单位
摘要
1 山东理工大学机械工程学院,山东 淄博 255049
2 洛阳船舶材料研究所,河南 洛阳 471003
3 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江 哈尔滨 150001
钛合金表面氧化在提高耐磨、耐蚀、界面相容性等方面具有重要应用。采用高斯分布的面热源,模拟红外激光制备Ti6Al4V钛合金表面氧化层过程中的温度分布及变化。首先,通过对比激光功率为500 W(功率密度为39.8 W/mm2)、扫描速度为15 mm/s时钛合金表面和厚度方向温度分布的模拟与试验结果,验证了有限元模型的有效性。然后,采用该模型研究激光功率、扫描速率、重复扫描间隔等对温度场的影响规律。随着激光功率增加,扫描速率降低,加工过程中的线能量增加,钛合金表面和厚度方向的温度整体增加。当线能量相同情况下,由于能量在钛合金表面的累积,大功率高扫描速度下可以获得更高的表面温度和基本相同的内部温度。随着重复扫描间隔的缩小,表面最高温度逐渐升高。
激光加工 氧化层 钛合金 数值模拟 laser processing oxide layers titanium alloy numerical analysis 
激光与光电子学进展
2023, 60(17): 1714006
作者单位
摘要
1 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家联合重点室,吉林 长春 130012
2 吉林大学物理学院,吉林 长春 130012
3 清华大学精密仪器系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京 100084
随着大数据时代的来临,利用飞秒激光在透明硬质材料中写入数据形成永久光存储的技术成为高容量、长寿命冷数据的一种理想存储方案,具有广阔的应用前景。本文从飞秒激光永久光存储发展存在的问题出发,梳理了近20年来超快激光与透明硬质材料相互作用的机制,总结了飞秒激光诱导相变的类型和过程,展示了其在光存储方面的应用;同时,从写入速度和容量角度出发,介绍了最新的脉宽调制效应和热调制高重复频率直写技术,阐述了五维永久光存储目前面临的挑战以及可行的解决办法。
激光技术 永久光存储 超快激光加工 光与物质相互作用 相变 laser technique eternal optical storage ultrafast laser processing the interaction between laser and materials phase change 
中国激光
2023, 50(18): 1813005
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 吉光半导体科技有限公司,吉林 长春 130022
3 东莞方孺光电科技有限公司,广东 东莞 523822
4 陆军装备部驻北京地区军事代表局,北京 100166
针对目前铜、金等金属材料加工的实际应用需求,开展了连续输出功率500 W的光纤耦合输出蓝光半导体激光加工光源研究。基于平面窗口TO封装的蓝光半导体激光单管器件,设计采用长后工作距的快轴准直镜和慢轴准直镜分别准直,获得低发散角、高光束质量的单元准直光束;结合二维空间合束、偏振合束和光纤耦合,将144个蓝光单管器件耦合进200 μm/NA 0.22光纤,通过ZEMAX软件对半导体激光光路进行光线追踪模拟;并从实验上实现,3 A电流驱动下,200 μm/NA 0.22光纤输出连续功率523 W,电光转换效率29 %。该激光光源具有直接加工铜、金等材料的能力。
蓝光半导体激光器 光纤耦合 激光合束 激光加工 blue diode laser fiber-coupled laser beam combination laser processing source 
发光学报
2023, 44(7): 1308
作者单位
摘要
1 广东正业科技股份有限公司,广东 东莞 523000
2 吉林大学电子科学与工程学院,吉林 长春 130012
针对硬质材料高数值孔径(NA)微透镜阵列制备难的问题,提出一种基于像差的自调制激光加工方法。该方法将飞秒激光聚焦于石英衬底的下表面,能够实现对激光焦点的纵向拉伸,结合氢氟酸溶液湿法刻蚀实现了具有高数值孔径微透镜的制备。结果表明,利用该技术通过改变单脉冲能量能够对微透镜形貌进行调控,在此基础上进一步优化离焦位置,有效地增大了微透镜的数值孔径,制备出达到理论极限(NAmax=0.46)的高数值孔径石英微透镜。相对于传统的正面加工方法,所提方法方式不仅提升了微透镜的数值孔径,而且无需复杂的光调制系统,对于高性能硬质材料微透镜阵列的制备与实际应用具有重要的意义。
激光技术 飞秒激光加工 高数值孔径 微透镜阵列 熔融石英 laser technique femtosecond laser processing high numerical aperture microlens arrays fused silica 
光学学报
2023, 43(16): 1623019
作者单位
摘要
东南大学机械工程学院,江苏 南京 211189
氧化锆陶瓷以其优异的力学性能和生物相容性被广泛用作牙科修复材料。通过表面改性工艺调控氧化锆陶瓷的表面润湿性,可以进一步拓展其在不同领域的应用。基于此,笔者提出了一种高效、低成本的激光加工+硅油修饰+热处理复合工艺,并采用该工艺制备了超疏水氧化锆陶瓷表面。首先通过纳秒激光加工在氧化锆陶瓷表面诱导出周期性多级微纳结构,而后利用硅油异丙醇混合溶液(硅油体积分数为0.4%)修饰+低温热处理来降低激光处理后氧化锆陶瓷的表面能,制备出了表面接触角高达153.8°具有超疏水特性的氧化锆陶瓷。加工前的氧化锆陶瓷的接触角为80.4°±2.1°,展现出亲水性;经纳秒激光加工后,液滴完全浸润表面,接触角变为0°,表面转变为超亲水表面。采用硅油异丙醇混合溶液修饰+低温热处理工艺实现了表面超亲水特性向超疏水特性的转变。超疏水氧化锆陶瓷在空气环境和胶带剥离实验中分别保持了优秀的稳定性和耐久性。通过改变激光的扫描速度及扫描间距可以精准调控液滴在材料表面的润湿性和黏附性。所提方法相较于传统激光加工方法提高了制备效率,降低了生产成本,有望扩展超疏水氧化锆陶瓷在医疗领域的应用。
激光技术 氧化锆陶瓷 超疏水表面 激光加工 微纳结构 表面化学 黏附性 laser technique zirconia ceramic superhydrophobic surface laser processing micro/nanostructure surface chemistry adhesion 
中国激光
2023, 50(16): 1602210
作者单位
摘要
1 国防科技大学 前沿交叉学科学院,湖南 长沙 410073
2 国防科技大学 南湖之光实验室,湖南 长沙 410073
3 高能激光技术湖南省重点实验室,湖南 长沙 410073
光纤激光相控阵扫描技术是一种通过相位调制实现光束偏转的非机械式扫描技术,在激光加工、目标跟踪、自由空间光通信以及激光雷达等领域具有广泛的应用价值。文中概述了光纤激光相控阵光束扫描技术的基本原理和发展历程,重点阐述了光学相控阵动态扫描技术中的相位控制技术、空间扫描特征及性能提升方法,最后对光纤激光相控阵的发展趋势和应用前景进行了展望。
光纤激光相控阵 相干合成 非机械扫描 激光加工 fiber laser phased array coherent beam combining non-mechanical scanning laser processing 
红外与激光工程
2023, 52(6): 20230250

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