期刊基本信息
创刊:
1979年 • 双月刊
名称:
压电与声光
英文:
Piezoelectrics & Acoustooptics
主管单位:
中国电子科技集团公司
主办单位:
四川压电与声光技术研究所
出版单位:
《压电与声光》编辑部
主编:
马晋毅
执行主编:
许昕
副主编:
-
ISSN:
1004-2474
刊号:
CN 50-1091/TN
电话:
023-65860260
邮箱:
地址:
重庆市南岸区南坪花园路14号
邮编:
400060
定价:
20元

当前目录 第45卷 第6期

作者单位
摘要
压电与声光
2023, 45(6): 1
作者单位
摘要
压电与声光
2023, 45(6): 1
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤波器。采用空腔型结构并制备出温补型FBAR滤波器芯片,同时在常规TC-FBAR基础上制备空气桥和凸起层结构,得到双空气桥结构的高性能TC-FBAR滤波器。测试结果表明,滤波器的中心频率为2.43 GHz,最小插损为1.02 dB,1 dB带宽为70.5 MHz,频率温度系数为1.82×10-6/℃。
温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数(TCF) temperature compensation thin-film bulk acoustic r filter temperature compensation layer frequency temperature coefficient(TCF) 
压电与声光
2023, 45(6): 795
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
研究了常规光刻工艺下单晶薄膜晶圆制备声表面波滤波器的频率分散特性。结果表明,压电单晶薄膜的表面色差是引起频率分散性恶化的根本原因,采用抗反射膜工艺抑制衬底反射以及分区曝光工艺对不同色块进行曝光补偿,均能有效地提高片内频率一致性,频率2 MHz内包含最大器件数量占比,从常规曝光的48.81%提高到抗反射膜工艺的53.57%和分区曝光工艺的70.24%。
压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 曝光补偿 频率一致性 piezoelectric-on-insulator wafer antireflective film exposure compensation frequency consistency 
压电与声光
2023, 45(6): 800
作者单位
摘要
中国矿业大学 信息与控制工程学院,江苏 徐州 221116
该文提出了一种由单边复合周期人工表面等离子体激元(SSPPs)波导和叉指谐振器构成的新型小型化低通双陷波滤波器。该滤波器首先去除了传统SSPPs滤波器的模式转换结构,有效地减小了滤波器的尺寸,从而实现滤波器的小型化。此外,该滤波器分别在SSPPs传输线和底部金属板引入叉指谐振器,从而产生两个传输零点,实现了两个可独立调谐的陷波。仿真与实测结果均表明,该文所提出的滤波器具有较高的传输效率,其截止频率为8.3 GHz,带内的回波损耗低于16.6 dB,陷波抑制均达到20 dB。
人工表面等离子体激元 小型化 复合周期 陷波 spoof surface plasmon polaritons (SSPPs) miniaturization composite periodic notch 
压电与声光
2023, 45(6): 804
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文设计了一款用于电子不停车收费系统(ETC)的声表面波(SAW)滤波器。该款滤波器采用3-1-3分节的电容加权结构和电极宽度控制(EWC)的换能器单元结构,基片材料为128°Y-X铌酸锂。通过对滤波器外围匹配电感、换能器反射指结构和膜厚的优化,实现了滤波器小插入损耗和高阻带抑制,制作滤波器的中心频率为40 MHz,插入损耗为-7.5 dB。该文突破常规设计方法,采用在扇形结构中换能器全抽指加权SAW滤波器的设计手段,使器件最终满足ETC项目使用要求。
声表面波滤波器(SAW) 扇形结构 电容加权 抽指加权 SAW filter fan-shape structure capacitance weighting withdrawal weighting 
压电与声光
2023, 45(6): 809
作者单位
摘要
南京国睿微波器件有限公司,江苏 南京 210013
该文设计了一款基于微机电系统(MEMS)工艺的小型高选择性的射频滤波器,与传统MEMS滤波器相比,该滤波器采用阶跃阻抗谐振器(SIR)降低器件尺寸,利用谐振器的场分布形成结构紧凑的交叉耦合,免去了传统的飞杆电耦合结构,在提高滤波器选择性的同时实现器件的紧凑布局。滤波器表面金属谐振腔通过金属化的硅通孔实现谐振器的接地,形成四分之一波长谐振结构。对性能和结构参数各异的滤波器进行设计和分析,并采用三维电磁仿真软件对滤波器进行模拟仿真。结果表明,滤波器尺寸为10 mm×10 mm ×0.4 mm,驻波比<1.3 dB,插入损耗<3.5 dB。在2.5~2.7 GHz和3.4~3.5 GHz时,带外抑制>30 dB。
微机电系统(MEMS)工艺 阶跃阻抗 高选择性 小型化 micro-electro-mechanical system(MEMS) technique stepped impedance high-selectivity compact 
压电与声光
2023, 45(6): 813
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
该文介绍了一种双波段大孔径角声光可调滤光器的设计方法和测试结果。该滤光器具有同时滤出可见光与中波的功能,其高频段滤出可见光(450~750 nm),低频段滤出中波(3 000~4 500 nm)。滤光器采用氧化碲晶体作为声光介质材料,入射极角取20°,可见光波段的超声极角取98.55°,中波波段的超声极角取99.65°,在可见波段互作用长度为3 mm、中波波段互作用长度为23.1 mm时,可见光与中波波段同时获得了大于6°的孔径角。
声光可调滤光器 光波长 氧化碲 孔径角 互作用长度 acousto-optic tunable filter optical wavelength tellurium dioxide aperture angle interaction lengths 
压电与声光
2023, 45(6): 818
作者单位
摘要
1 无锡商业职业技术学院 物联网与人工智能学院,江苏 无锡 214153
2 江苏省无线传感系统应用工程技术研究开发中心,江苏 无锡 214153
3 重庆理工大学 智能光纤感知技术重庆市高校工程研究中心,重庆市光纤传感与光电检测重点实验室,重庆 400054
为了提高光纤倏逝波传感器的灵敏度,该文提出了一种新型结构传感光纤。传感光纤由传统塑料光纤+新型阶跃光纤(折射率由纤芯向包层阶跃增大)+传统塑料光纤级联而成。新型阶跃光纤为倏逝波传感器的敏感区,光纤纤芯由聚甲基丙烯酸甲酯构成,包层由聚砜与GeO2混合物构成。利用几何光学分析了光纤光传输特性,实验测试了光纤光传输特性及其对外界折射率敏感特性。结果表明,当新型阶跃光纤包层中GeO2掺杂质量分数为1.5%,涂覆层厚为200 μm时,传感光纤具有较好的光谱传输质量及高的折射率响应灵敏度。
传感光纤 倏逝波 光传输 折射率 灵敏度 sensing fiber optic evanescent wave optical transmission refractive index sensitivity 
压电与声光
2023, 45(6): 823
作者单位
摘要
1 中电科芯片技术(集团)有限公司,重庆 400060
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060
3 重庆城市管理职业学院 大数据与信息产业学院,重庆 400030
针对微机电系统(MEMS)压阻式压力传感器受环境温度影响产生温度漂移的问题,该文分析了常用的温度补偿方法,提出了一种基于粒子群优化-径向基函数(PSO-RBF)的压力传感器温度补偿模型,结合标定实验采集的样本数据,建立了标定压力同敏感元件输出电压和温度的非线性映射关系,实现了温度补偿效果。结果表明,与传统的最小二乘法、三次样条插值法、标准RBF、粒子群优化反向传输神经网络(PSO-BP)、核极限学习机(ELM)神经网络等方法相比,该算法具有更好的补偿预测效果,且对样本数据不需要归一化处理,具有良好的工程实践意义。
微机电系统(MEMS) 压阻式压力传感器 温度补偿 归一化 micro-electro-mechanical system(MEMS) piezoresistive pressure sensor PSO-RBF PSO-RBF temperature compensation normalization 
压电与声光
2023, 45(6): 828
作者单位
摘要
南京航空航天大学 机电学院,江苏 南京 210016
针对现有压电振子驱动的共振隔膜泵中存在隔膜往复运动位移及位移放大比小的问题,该文设计出一种可应用于共振隔膜泵的大位移压电叠堆执行器,利用压电叠堆作电-机转换器,提高其响应速度,采用矩形弹簧结构,保证系统稳定性,提高系统的一阶固有频率。建立压电叠堆执行器的数学模型,并分析了系统的位移放大比和各阶固有频率,测试了样机的相关性能。实验结果表明,在输入激励信号幅值60 V、频率510 Hz的正弦信号下,该压电叠堆执行器输出位移为154 μm,位移放大倍数为18.11倍,研制的压电叠堆执行器具有较高的响应速度及较大的输出位移,可用于提升共振隔膜泵的输出性能。
压电叠堆执行器 压电叠堆材料 位移放大 谐振驱动 共振隔膜泵 piezoelectric stack actuator piezoelectric stack material displacement amplification resonant drive resonance diaphragm pump 
压电与声光
2023, 45(6): 833
作者单位
摘要
1 桂林理工大学 机械与控制工程学院高校先进制造与自动化技术重点实验室,广西 桂林 541006
2 桂林电子科技大学 机电工程学院,广西 桂林 541004
为了提高半圆柱阻流体无阀压电泵的流量,结合锥形腔的流阻不等特性,该文设计了一种半圆柱阻流体锥形腔无阀压电泵,并建立了其流量的理论公式。数值模拟了该泵的泵腔流速分布,对比分析了其与半圆柱阻流体无阀压电泵的阻力特性。模拟结果表明,半圆柱阻流体锥形腔无阀压电泵能实现流体的单向输送,且其输送能力优于半圆柱阻流体无阀压电泵。制作了两种泵的样机并进行了流量和压力差试验。试验结果表明,在驱动电压220 V下,半圆柱阻流体锥形腔无阀压电泵的最高流量和压力差分别为30.96 g/min和394 Pa,与半圆柱阻流体无阀压电泵相比,其流量和压力差均得到提高。
半圆柱 锥形腔 无阀压电泵 流量 压力差 semi-cylinder conical cavity valveless piezoelectric pump flow rate pressure difference 
压电与声光
2023, 45(6): 839
李春龙 1,2黄辉 1,2鞠登峰 1,2刘弘景 3,4[ ... ]高玲肖 5
作者单位
摘要
1 国网智能电网研究院有限公司, 北京102209
2 2.国网公司电力智能传感技术实验室,北京102209
3 国网北京电力科学研究院,北京100075
4 4.现场检测技术标准验证实验室,北京102209
5 国网智能电网研究院有限公司, 北京102209河北工业大学 机械工程学院,天津 300401
提出了一种利用铁电偶极子提高摩擦发电机表面电荷密度的方法。利用聚偏氟乙烯(PVDF)的铁电特性,在摩擦电层形成正电荷陷阱,增强摩擦电材料的发电性能,从而提高摩擦电纳米发电机的表面电荷密度。采用铸造工艺和单轴拉伸工艺制备了PVDF薄膜,并将其集成到具有垂直分离结构的摩擦电纳米发电机中。系统地研究了PVDF膜的埋置方向、厚度和极化强度对摩擦纳米发电机输出功率的影响。结果表明,当压电膜厚度为100 μm,最大极化电场为90 MV/m时,摩擦电纳米发电机的峰值功率提高了2.6倍。这项工作为调节摩擦电纳米发电机的性能提供了新的见解。The Influence of Ferroelectric Dipoles on the Output Performance of Triboelectric
多功能复合材料 薄膜 电气性能 摩擦纳米发电机 multifunctional composites thin films electrical properties triboelectric nanogenerator 
压电与声光
2023, 45(6): 845
作者单位
摘要
东南大学 仪器科学与工程学院,江苏 南京 210096
重力矢量测量包含重力方向信息(即垂线偏差),对确定大地水准面具有重要意义。为了获得海洋重力扰动矢量的水平分量,该文提出了一种基于捷联惯导系统/全球导航卫星系统(SINS/GNSS)组合系统确定海洋重力扰动矢量水平分量的两步法。首先,利用捷联惯导算法和卡尔曼滤波用于加速度计偏差和姿态误差角的估计和补偿。然后,基于精确估计的加速度计偏差和姿态角误差,给出了重力扰动矢量水平分量的计算方程。将重力扰动矢量水平分量的模型用二阶马尔可夫随机过程描述,将其与加速度计的偏差分离,用正向-平滑卡尔曼滤波精确估计重力扰动的水平分量。船载试验数据离线计算表明,海洋重力扰动矢量水平分量的内符合精度优于2 mGal(1 Gal=1 cm/s2)。
重力扰动矢量 SINS/GNSS组合系统 马尔可夫随机过程 正向-平滑卡尔曼滤波 gravity disturbance vector SINS/GNSS combined system Markov stochastic process forward-smoothing Kalman filter 
压电与声光
2023, 45(6): 855
作者单位
摘要
1 长沙理工大学 汽车与机械工程学院,湖南 长沙 410114
2 长沙理工大学 汽车与机械工程学院,湖南 长沙 410114机械装备高性能智能制造关键技术湖南省重点实验室,湖南 长沙 410114
针对传统的Bouc-Wen模型不能准确表征压电陶瓷执行器固有的迟滞非对称特征,导致控制精度受限问题,该文提出一种基于传统的Bouc-Wen模型与Hammerstein 模型结合的迟滞建模方法,基于利用卡曼状态预估的滑模控制的控制策略来提高控制精度。首先,利用粒子群算法对传统的Bouc-Wen模型与Hammerstein结构结合迟滞模型的参数进行辨识,然后根据二阶系统的状态空间矩阵建立卡尔曼观测器,并根据卡尔曼观测器的状态预估利用滑模规律进行反馈补偿和建立逆模型进行前馈补偿,形成前馈-反馈复合补偿。通过数值仿真表明,在0~100 V峰值与0~100 Hz激励频率内,所建立的非线性模型能很好地描述与预测压电陶瓷执行器的动态输出。执行器位移在0~6 μm时,传统的Bouc-Wen模型开环、基于传统的Bouc-Wen模型与Hammerstein 结构结合迟滞模型的平均迟滞误差分别为0.654 95 μm、0.186 39 μm; 在50 Hz下,基于传统的Bouc-Wen模型与Hammerstein 结构的前馈PID补偿均方根误差为0.088 5 μm,其前馈滑模复合控制补偿均方根误差为0.047 μm,仅为最大输出位移的0.78%,最大跟踪误差仅为0.153 μm,精度提高了78%,说明该文所提出的基于传统的Bouc-Wen模型与Hammerstein 结构结合迟滞模型及其补偿控制算法,有助于实现压电陶瓷执行器的高速、宽频超精密定位控制。
压电陶瓷执行器 动态非对称迟滞 模型 滑模控制 piezoelectric ceramic actuator dynamic asymmetric hysteresis Hammerstein Hammerstein model sliding mode control 
压电与声光
2023, 45(6): 859
作者单位
摘要
山东理工大学 机械工程学院,山东 淄博 255049
针对因压电陶瓷固有的迟滞特性降低了压电陶瓷平台定位精度问题,该文提出一种基于前馈补偿的复合控制系统。首先建立前馈模型,提出并应用一种分段式的Prandtl-Ishlinskii模型,增加拟合精度,同时避免了复杂的求解过程,并求出迟滞逆模型,其建模误差率可达0.69%; 其次,对反馈回路设计了串联比例-积分(PI)数字电路、正弦激励电路及电容转换电路,进一步提高了压电陶瓷定位平台的控制精度。根据国标GB/T 38614—2020的测试标准进行实验测试,结果表明,在设计的复合控制系统控制下,压电陶瓷定位平台正、反向重复定位精度分别为0.013 1 μm和0.015 5 μm,准确度为0.033 5 μm,在计算出反向差值后得出迟滞误差为0.013%。与仅有前馈控制相比,其控制精度提高了79.57%。
压电平台 复合控制 前馈补偿 电容传感器 PI控制 piezoelectric platform compound control feedforward compensation capacitance sensor PI control 
压电与声光
2023, 45(6): 866
作者单位
摘要
1 上海工程技术大学 机械与汽车工程学院,上海201620
2 上海工程技术大学 机械与汽车工程学院,上海201620上海艾为电子技术股份有限公司,上海201199
为了提高双稳态压电电磁复合能量采集器(BPEEH)的能量转换性能和转换效率,该文在典型BPEEH的基础上,提出了一种新颖的三稳态压电电磁复合能量采集器(TPEEH)。与传统的BPEEH相比,其兼有一个新颖的电磁发电装置,进一步构成三稳态系统。该文通过对TPEEH结构装置建立数学模型,进行了数值分析,并得到该采集器系统的势能变化函数。在此基础上,通过实验验证了外界激励频率、磁铁间距及电路负载电阻对该采集器输出电压和功率的影响。实验结果表明,当磁距为16 mm,外部磁间距为26 mm,外部激励频率为10.2 Hz时,TPEEH采集器有最大的输出电压(为6.348 9 V),同时在外部负载电阻为500 Ω时,采集器获得最大输出功率(为0.08 W)。与传统的BPEEH采集器相比,TPEEH采集器的采集谐振频率低,采集频带宽,输出电压和功率高,从而提高了能量转换性能和效率。
压电 电磁 三稳态 数学模型 复合能量采集器 piezoelectric electromagnetic tristable mathematical model composite energy harvester 
压电与声光
2023, 45(6): 872
作者单位
摘要
1 北京理工大学 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京100081北京信息科技大学 传感器北京市重点实验室, 北京100101
2 北京理工大学 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京100081北京理工大学 长三角研究院, 浙江 嘉兴314001
3 北京信息科技大学 传感器北京市重点实验室, 北京100101
针对高机电耦合系数和曲面换能器的应用需求,该文提出一种由压电陶瓷、环氧树脂和硅橡胶三相复合的改进1-3型压电复合材料,基于Newnhams串、并联分析对复合材料的理论模型进行了推导,并利用Matlab进行了数值计算,分析了改性1-3型复合材料的结构参数对厚度机电耦合系数、等效密度和厚度频率常数的影响。结果表明,陶瓷-环氧复合相的体积分数为0.2~0.5,陶瓷-环氧复合相中的压电陶瓷体积分数为0.6~0.7时,改性1-3型压电复合材料的性能参数较好; 利用ANSYS软件对复合材料进行了有限元仿真,将仿真结果与理论计算进行了对比,二者具有较好的一致性,验证了理论模型评估材料性能的准确性。
改性1-3型压电复合材料 理论模型 有限元仿真 结构参数 性能参数 improved 1-3 piezoelectric composite theoretical model finite element simulation structural parameters performance parameter 
压电与声光
2023, 45(6): 878
作者单位
摘要
1 杭州瑞利超声科技有限公司, 浙江 杭州 310023杭州应用声学研究所,浙江 杭州 310023
2 杭州瑞利超声科技有限公司, 浙江 杭州 310023杭州应用声学研究所,浙江 杭州 310023哈尔滨工程大学 水声工程学院, 黑龙江 哈尔滨 150001
3 杭州瑞利超声科技有限公司,浙江 杭州 310023杭州应用声学研究所,浙江 杭州 310023
针对空气耦合超声换能器存在换能器与空气介质阻抗失配,易造成电声转换效率低等问题,该文提出了一种采用空心酚醛树脂微球与环氧树脂基体研制的声匹配层,并对匹配层的声学特性进行测试与分析。测试结果表明,与空心玻璃微球匹配层相比,空心酚醛树脂微球匹配层具有声速更低及插入损耗更大的特点。基于此,该文研制了一种空气耦合超声换能器,对两只经匹配后的换能器进行测试,分析了接收信号的时域及频域特征,并与空心玻璃微球匹配层换能器进行性能对比。结果表明,与空心玻璃微球匹配层相比,采用空心酚醛树脂微球匹配层可减小换能器带内起伏,使换能器的-6 dB带宽扩展2倍以上,并在时域上减小接收信号的拖尾。
空气耦合超声换能器 空心酚醛树脂微球 环氧树脂基体 声学匹配层 有限元建模 air-coupled ultrasonic transducer hollow phenolic resin microspheres epoxy resin matrix acoustic matching layer finite element modeling 
压电与声光
2023, 45(6): 892
作者单位
摘要
杭州电子科技大学 新型电子器件与应用研究所, 浙江 杭州 310018
压电陶瓷驱动电源是微位移系统的关键组成部分。为了满足系统对高稳定性、高精度的应用需求,该文设计了一种基于PB58高压运放的新型驱动电源,采用STM32单片机控制输入信号,接收并监控输出信号状态。采用反馈零点补偿和噪声增益补偿相结合的方式提高了放大电路的稳定性。对搭建完成后的系统进行测试分析,最终证明该电源系统具有稳定性高,响应速度快,输出功率大的特点。
压电陶瓷 功率放大 驱动电源 单片机 相位补偿 piezoelectric ceramics PB58 PB58 power amplifier drive power supply microcontroller phase compensation 
压电与声光
2023, 45(6): 898
作者单位
摘要
1 上海电力大学 电子与信息工程学院,上海 201306
2 中电科微波通信(上海)有限公司,上海 201802
为满足高速率无线通信对超宽带(UWB)传输的要求,该文设计了一种高隔离度超宽带多输入多输出(MIMO)槽天线。天线采用共面波导(CPW)馈电,印制在相对介电常数为4.4的FR4介质基板上。通过对天线地板切角,天线实现了良好的阻抗匹配。实测阻抗带宽为2.88~11.18 GHz,相对带宽达118.1%。为了降低耦合度,两个辐射单元间采用中和线结构,实现了天线的高隔离度。实验表明,在工作频带内,天线的端口隔离度大于20 dB,包络相关系数(ECC)小于0.002,分集增益(DG)大于9.996 dB,分集性能良好,该天线适用于超宽带无线通信系统。
超宽带天线 共面波导馈电 中和线 槽天线 高隔离度 MIMO天线 ultra wideband antenna coplane waveguide feed neutralization line slot antenna high isolation MIMO antenna 
压电与声光
2023, 45(6): 903
作者单位
摘要
1 上海理工大学 健康科学与工程学院,上海 200093
2 宁波大学 物理科学与技术学院,浙江 宁波 315211
3 山东第一医科大学 附属人民医院超声科,山东 济南 271100
(K0.5Na0.5)NbO3(KNN)陶瓷作为一类重要的高性能无铅压电材料体系,有望推动医用超声成像换能器技术的无铅化。对KNN陶瓷进行有效掺杂改性研究,采用固相烧结法制备了具有优异压电性能的KNN基压电陶瓷,其压电常数达400 pC/N,机电耦合系数为55%。基于其高压电、低声阻抗的综合性能设计制备了高分辨力、大带宽及高频率的医用超声换能器,其纵向分辨率达47 μm,-6 dB带宽达93%,中心频率为18.0 MHz。利用此换能器对人体组织模型进行B模式超声成像,获得管状组织的高分辨率结构图像。结果表明,KNN体系陶瓷是一种应用于医用高频超声成像中综合性能优异的材料。
无铅压电材料 (K0.5Na0.5)NbO3基陶瓷 超声成像 超声换能器 lead-free piezoelectric material (K0.5Na0.5) NbO3-based ceramics ultrasonic imaging ultrasonic transducer 
压电与声光
2023, 45(6): 910
作者单位
摘要
1 天津职业技术师范大学 机械工程学院,天津 300222
2 天津职业技术师范大学 机械工程学院,天津 300222天津市高速切削与精密加工重点实验室,天津 300222
为了能够实现高精度的微纳米级转动,该文基于柔性铰链设计了一种单压电陶瓷驱动的纯转动微定位平台。平台采用圆周阵列式柔性梁实现运动导向与解耦,通过杠杆机构增大动平台转动行程。首先通过有限元仿真验证了圆周阵列式柔性梁对动平台轴心漂移的抑制作用,然后通过实验对其运动特征进行测试与分析。测试结果表明,该机构具有良好的回转精度,在x轴正方向轴心漂移量为0~0.23 μm,y轴负方向轴心漂移量为0~4.59 μm,旋转弧度可达916 μrad,旋转精度为0.53 μrad。轴心漂移补偿后整体误差最大为4.9%。
压电陶瓷 微转动平台 柔性铰链 轴漂 旋转弧度 piezoelectric ceramic micro-rotational platform flexible hinge axial drift rotation radian 
压电与声光
2023, 45(6): 917
作者单位
摘要
河北博威集成电路有限公司,河北 石家庄 050299
使用泛音SC切石英晶体谐振器的恒温晶振需含有电感的带通电路来抑制B模振荡,不利于恒温晶振小型化。该文建立了谐振器的振动模型和等效电参数的计算模型,利用B模、C模在电极内的法向电流密度分布差异对电极进行裁剪,设计了B模抑制电极,调整两种模式的压电耦合效率,成功设计出B模自抑制的19.2 MHz三次泛音SC切晶体谐振器。结果表明,该方法有助于小型化SC切恒温晶体振荡器使用泛音晶体,以实现更高的指标。
SC切谐振器 B模抑制 电极 等效电感 法向电流密度 SC cut crystal resonator B mode suppression electrode equivalent inductance normal current density 
压电与声光
2023, 45(6): 922
作者单位
摘要
1 天通凯巨科技有限公司,江苏 徐州 221000
2 天通控股股份有限公司,浙江 嘉兴 314000
3 天通凯巨科技有限公司,江苏 徐州 221000天通控股股份有限公司,浙江 嘉兴 314000
铌酸锂作为一种优良的多功能晶体材料,在光学、声学、电学和电子领域应用较广。已有研究表明,在集成光电子器件应用中对铌酸锂晶片进行键合,可提高器件的传输频率,降低损耗,实现高集成密度。该文总结了近年来国内外有关铌酸锂晶片键合技术的研究现状,介绍了键合强度的分析方法,以及铌酸锂键合晶圆在集成光电子器件中的最新研究进展,展望了铌酸锂键合技术的未来发展。
铌酸锂 键合 光电子器件 集成 调制器 lithium niobate bonding optoelectronic device integration modulator 
压电与声光
2023, 45(6): 926
作者单位
摘要
1 苏州市轨道交通集团有限公司,江苏 苏州 215008
2 中电科芯片技术(集团)有限公司,重庆 401332
针对振动传感器系统对环境状态中入侵事件识别正确率较低的难题,该文提出了一种基于随机配置网络(SCN)的神经网络结构,用于识别周界入侵的振动传感信号。首先通过搭建振动传感器系统对4种周界入侵信号进行采集,然后利用小波降噪对信号进行降噪预处理,再提取信号的能量特征、过均值率、PAR特征,最后通过随机配置网络神经网络对攀爬、触碰、撞击及剪切4种入侵事件进行识别。其训练集识别准确率可达92.7%,测试集平均识别准确率可达90.7%。实验结果表明,该文所提出方法可对周界入侵信号进行有效识别。
振动传感 随机配置网络 入侵识别 特征提取 vibration sensing stochastic configuration network(SCN) intrusion recognition feature extraction 
压电与声光
2023, 45(6): 935
作者单位
摘要
北京理工大学 光电学院,北京 100081
该文介绍了声光可调滤光器器件及器件中的关键材料——声光介质氧化碲晶体与换能器铌酸锂晶体的辐照特性。辐照实验采用中子辐照(中子注量1.5×1012 n/cm2@1MEV等效电子)和电离辐照(总剂量6×103 Gy(Si))。采用高分辨X线衍射(HRXRD)分析了氧化碲与铌酸锂晶体,分析显示辐照前后两种晶体的X线衍射峰无变化,表明它们的晶格常数无变化,但其摇摆曲线变宽,表明它们吸收的辐照能量使晶体内部应力增大。采用阻抗分析仪测试了辐照前后铌酸锂的机电耦合系数,测试表明辐照使机电耦合系数降低了约1%。采用1 064 nm等4种波长的激光测试了声光可调滤光器器件的滤光功能和衍射效率,测试表明滤光功能正常,辐照使衍射效率下降了约2%。因此,辐照对声光可调滤光器影响较小,适合辐照条件下的深空探测。
声光可调滤光器 辐照特性 中子 电离 衍射效率 acousto-optic tunable filter irradiation characteristics neutron ionizing diffraction efficiency 
压电与声光
2023, 45(6): 941