光电工程, 2006, 33 (1): 127, 网络出版: 2007-11-14
基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器
Adaptive controller based on LMS algorithm for compensating environmental vibration of a phase-shifting interferometer
摘要
环境振动严重影响移相干涉测量的过程.在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号.反馈控制信号驱动PZT光学移相器对振动引起的光程差(或波前相位)变化进行实时补偿.通过这种闭环控制,系统能够对幅频积小于100waves*Hz的环境振动进行有效补偿,实验中获得了稳定的移相干涉条纹,保证了光学测试的正确性.
Abstract
吴栋, 陈磊, 朱日宏. 基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器[J]. 光电工程, 2006, 33(1): 127. 吴栋, 陈磊, 朱日宏. Adaptive controller based on LMS algorithm for compensating environmental vibration of a phase-shifting interferometer[J]. Opto-Electronic Engineering, 2006, 33(1): 127.
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