激光技术, 2003, 27 (4): 352, 网络出版: 2007-09-18
射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究
Study on laser scribing of Al2O3 ceramic substrate with RF CO2 laser
摘要
分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则.通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.
Abstract
侯廉平, 陈培峰, 陈清明. 射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究[J]. 激光技术, 2003, 27(4): 352. 侯廉平, 陈培峰, 陈清明. Study on laser scribing of Al2O3 ceramic substrate with RF CO2 laser[J]. Laser Technology, 2003, 27(4): 352.
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