1 中国科学院,半导体研究所,国家光电子工艺中心,北京,100083
2 华中科技大学,激光技术与工程研究院,武汉,430074
介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符.利用该陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美.
陶瓷基板 划片机 光路 设计
1 中国科学院,半导体研究所,国家光电子工艺中心,北京,100083
2 华中科技大学,激光工程研究院,湖北,武汉,430074
介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符,系统划片速度可达10 m/min,划缝宽度<0.1 mm,划缝深度>0.3 mm.利用所设计的陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美
激光加工设备 陶瓷基板 划片机 光路 设计
华中科技大学激光技术与工程研究院,武汉,430074
分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则.通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响.
RF CO2激光器 划片 氧化铝陶瓷基片 数值模拟
1 武汉金石凯激光技术有限公司
2 华中科技大学激光工程研究院,武汉,430074
介绍了RFCO2激光器及其对陶瓷基板划片的特点.分析了RF CO2激光陶瓷基板划片的机理;给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图.整机性能指标达到国外进口机的水平.
陶瓷基板 激光划片 RFCO2激光器 ceramic substrate laser scribing RF CO2 laser
