1 中国科学院,半导体研究所,国家光电子工艺中心,北京,100083
2 华中科技大学,激光技术与工程研究院,武汉,430074
介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符.利用该陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美.
陶瓷基板 划片机 光路 设计
1 中国科学院,半导体研究所,国家光电子工艺中心,北京,100083
2 华中科技大学,激光工程研究院,湖北,武汉,430074
介绍了RF CO2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符,系统划片速度可达10 m/min,划缝宽度<0.1 mm,划缝深度>0.3 mm.利用所设计的陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美
激光加工设备 陶瓷基板 划片机 光路 设计
