激光技术, 2004, 28 (4): 434, 网络出版: 2007-09-18
短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计
Dynamic model of a new XeCl laser with short duration time and UV grow discharge system design
摘要
以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现.采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度.结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad.动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉.
Abstract
任韧, 陈长乐, 朱世华, 徐进, 金克新, 王永仓, 袁孝, 宋宙模. 短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计[J]. 激光技术, 2004, 28(4): 434. 任韧, 陈长乐, 朱世华, 徐进, 金克新, 王永仓, 袁孝, 宋宙模. Dynamic model of a new XeCl laser with short duration time and UV grow discharge system design[J]. Laser Technology, 2004, 28(4): 434.
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