光子学报, 2003, 32 (5): 608, 网络出版: 2007-09-18
激光全场模态测量技术研究
ESPI for Full Field Vibration Model Measurement
摘要
详细阐述了电子散斑时间平均法振动测量技术的原理,通过对影响测量精度的诸因素进行理论和实验分析,提出通过应用连续相位扫描技术克服相移系统相移不准确所带来的误差.通过散斑平均技术的实施,消除散斑对测量精度的影响.在实验中得到了满意的测量结果.通过线性近似法,解决了振幅低于30 nm的振动测量问题,从而使系统分辨率达到亚纳米级,测量精度达到纳米级.
Abstract
乐开端, 周翔, 唐经源, 张文定. 激光全场模态测量技术研究[J]. 光子学报, 2003, 32(5): 608. 乐开端, 周翔, 唐经源, 张文定. ESPI for Full Field Vibration Model Measurement[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2003, 32(5): 608.
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