光学学报, 2008, 28 (7): 1291, 网络出版: 2008-07-04   

改进傅里叶变换轮廓术的测量算法研究 下载: 509次

Analysis on Measurement Method of Improved Fourier Transforms Profilometry
作者单位
四川大学光电科学技术系, 四川 成都 610064
摘要
提出一种适用于更普遍情况的计算方法,推导了投影装置与成像装置双瞳不等高且双轴不共面时的条纹获取公式,推导出新的相位获取公式以及相位高度映射公式,使得系统可以在双瞳连线不平行参考面,且双光轴也不共面时进行正确的三维测量。与传统的傅里叶变换轮廓术(FTP)相比,该算法实验系统的搭建更容易,投影装置和成像装置的摆放位置可以随意移动以方便全场条纹的获取; 与改进的傅里叶变换轮廓术(IFTP)相比,只需要对系统测量三个长度量,系统参量的获取更容易和准确,从而误差变小,测量结果更加接近真实。
Abstract
A flexible optical geometry of Fourier transform profilometry (FTP) is discussed. The fringe acquisition formula was derived, as well as the phase acquisition formula and the phase-height mapping formula, when the exit pupil of the projecting lens and the entrance pupil of the imaging lens do not share the same height and the axes of the two lenses are not in the same plane. Compared with the traditional Fourier transform profilometry, the experimental setup is simple and it is easier to obtain the full-field fringe through adjusting either the location of the projector or that of imaging device. Compared with the improved Fourier transform profilometry, only three length system parameters need to be measured, so the operation is simple and the measurement is more accurate.

毛先富, 苏显渝, 陈文静, 荆海龙. 改进傅里叶变换轮廓术的测量算法研究[J]. 光学学报, 2008, 28(7): 1291. Mao Xianfu, Su Xianyu, Chen Wenjing, Jin Hailong. Analysis on Measurement Method of Improved Fourier Transforms Profilometry[J]. Acta Optica Sinica, 2008, 28(7): 1291.

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