1962年美国通用电气公司、国际商业机械公司、麻省理工学院等实验室在GaAs二极管上通以正向电流而获得了激光。日本各单位随即展开了研究。63年东芝首先获得了GaAs的激光、测定了其谱线，发现谱线随杂质的种类与浓度而改变，8400埃谱钱的半宽度在0.2埃以下。
加拿大国家研究委员会实验宝的兰斯频(S. A. Ramsden)与戴维斯(R. Davies)发现，将激射光束聚焦，可在气体中产生足够的局部强度，以隔离火花的形式，造成电学中断。
自1960年以来，光激射器即被应用于焊接与加工上，所用的光激射器为脉冲红宝石和掺钕玻璃装置。输出能量1~100焦耳，脉冲长度为50毫微秒~1毫秒。
法国马科西通用电气公司研究中心已制出三种红宝石光激射器。
在最近给法国科学院的一篇通讯里，卡斯特勒（A. Kastler)教授发表了一种可以产生几千万度高温的方法。
加拿大, 渥太华消息：用有机晶体作为光激射器的可能性在加拿大国家研究委员会无线电和电气工程部里由从事固体研究的工作者们正在进行探索。
三麦电机株式会社的研究所用砷化镓二极管制成半导体光激射器。该会社是在砷化镓的n型晶体上面扩散进去一些锋形成p型层, 试制出"扩散型p—n结二极管”。用这种二极管进行了实验。这种二极管的形状是长0.5毫米、寛0.2毫米、髙0.2毫米的长方体。两个相对的侧面平行度是0.1波长并进行了光学研磨到10秒以内。
日立制作所中央研究所最近试制成产生连续可见光的气体光激射器, 发射波长为6328埃的红光。这种装置具有红外气体光激射器所没有发现的特性与优点, 即在极超高频区观察到光线相互间的差频现象。
日本电气株式会社为了在信息传递等通讯应用, 进行了气体光激射器的研究, 最近已经实现了振荡。在日本不久以前计量研究所的气体光激射器也成功地振荡了, 该社首先试制成这种光激射器。
