仪器，测量与计量

光学自由曲面在生物医学、航空航天等领域均有广泛的应用，但自由曲面面形的高精度检测一直是光学领域的一大难题。倾斜波面干涉法(Tilted-Wave-Interferometry，简称TWI)是自由曲面面形检测技术中前景较好的方法之一。点源阵列发生器是TWI系统的关键器件，文中分析了光纤阵列型点源阵列发生器相对于透镜阵列型点源发生器的优势，针对光纤阵列型点源阵列发生器各光纤出射光束之间存在初始光程差的问题，提出了基于马赫曾德全光纤干涉系统和小数重合法的光程差检测方法，测量各光束间的光程差并引入TWI系统的误差模型中，以消除其对被测件面形偏差解算的影响，经过分析该系统的测量不确定度为0.07λ3(λ3=632.8nm)。最后，分别使用基于光纤阵列的倾斜波面干涉系统和ZYGO干涉仪对一抛物面镜片进行测量，二者获得的面形偏差结果形状一致。

李小柳, 沈华, 李嘉, 朱雪妍, 姚德超, 路晴, 朱日宏. 倾斜波面干涉仪中光纤型点源发生器的光程误差标定方法[J]. 光学学报, 2018, 38(5): 2.  复制并引用该论文