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基于整形飞秒激光脉冲的三维微纳制备

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摘要

飞秒激光脉冲加工具有热效应小、加工精度突破衍射极限、三维内部加工能力等特性,在微纳制备领域独具优势。本文综述了利用飞秒激光脉冲整形技术结合飞秒激光三维直写进行透明介质中微纳制备的最新进展,这些技术有望在新型集成光学和微纳光学中发挥重要的作用。

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补充资料

DOI:10.3788/aos201939.0126009

作者单位:

    中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室
    中国科学院上海光学精密机械研究所
    中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室
    中科院上海光机所强场激光物理国家重点实验室

引用该论文

乔玲玲,储蔚,王哲,程亚. 基于整形飞秒激光脉冲的三维微纳制备[J].光学学报,2019,39(01):0126009.