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针对目前陶瓷材料功能性结构的高质量成型需求，本文探究了纳秒短脉冲紫外激光 在 Al2O3 陶瓷基板上微铣削盲孔的激光加工工艺。分别采用不同焦距的场镜来进行铣削实 验，研究了激光能量密度、振镜扫描速度、重复扫描次数等工艺参数对盲孔成型的锥度和底 部粗糙度的影响规律。实验结果表明，在上述加工参数中，场镜的焦距对盲孔锥角的影响最 为显著，其它参数则起到优化的效果。因此合理地选择场镜焦距，能够有效地改善盲孔的锥 角。在场镜焦距 f =160mm，激光脉冲能量密度为 25.8J/cm2，扫描速度 1000mm/s，重复扫 描次数为 400 次的条件下，能够获得较好的加工质量结果，盲孔深度为 0.83mm、锥角为 5.4°，其底部粗糙度为 2.48?m。

刘晓东, 陈亮, 王曦照, 熊政军. 紫外激光微铣削Al2O3陶瓷盲孔的工艺研究[J]. 激光与光电子学进展, 2021, 58(05): 5.  复制并引用该论文