激光制造

背场掺杂浓度较低是制约PERC电池性能提升的关键因素，本文提出以重掺杂硼的纳米硅浆料为硼源，采用纳秒激光熔覆工艺在PERC电池背面形成重掺杂硼的硅熔覆层结构，提升背场掺杂浓度。为了实现硼元素的可控扩散，本文通过建立三维瞬态温度场的有限元仿真模型，利用单因素仿真试验，探明了激光工艺参数对温度场的影响规律并初步确定了各激光工艺参数的使用范围。本文还通过一组正交仿真试验，利用极差分析，获得了不同的激光工艺参数与激光熔覆温度场分布的相互作用规律。最后将激光熔覆工艺兼容到PERC电池制备实验中，实验结果表明仿真模型与实验结果较为吻合，电池平均光电转化效率提升了0.27%，为制备PERC电池新型高效背场提供了理论基础。

徐龙, 洪捐, 汪炜. 纳秒激光熔覆硅纳米薄膜的仿真分析及实验研究[J]. 中国激光, 2019, 46(04): 8.  复制并引用该论文