强激光与粒子束, 2014, 26 (5): 051010, 网络出版: 2014-06-03   

线性色散设计的光谱共焦测量技术

Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective
作者单位
中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所, 四川 绵阳 621900
引用该论文

刘乾, 王洋, 杨维川, 袁道成. 线性色散设计的光谱共焦测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26(5): 051010.

Liu Qian, Wang Yang, Yang Weichuan, Yuan Daocheng. Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26(5): 051010.

引用列表
1、 高精度光谱共焦位移测量技术研究进展激光与光电子学进展, 2023, 60 (3): 0312014
2、 基于二元光学透镜光谱聚焦特性的微间距测量光学学报, 2020, 40 (2): 0212003

刘乾, 王洋, 杨维川, 袁道成. 线性色散设计的光谱共焦测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26(5): 051010. Liu Qian, Wang Yang, Yang Weichuan, Yuan Daocheng. Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26(5): 051010.

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