强激光与粒子束, 2014, 26 (5): 051010, 网络出版: 2014-06-03   

线性色散设计的光谱共焦测量技术

Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective
作者单位
中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所, 四川 绵阳 621900
基本信息
DOI: 10.11884/hplpb201426.051010
中图分类号: TP212;O439
栏目: 研究快报
项目基金: 中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2010B0203026)
收稿日期: 2013-09-11
修改稿日期: 2013-11-28
网络出版日期: 2014-06-03
通讯作者: 刘乾 (liuqianblue@126.com)
备注: --

刘乾, 王洋, 杨维川, 袁道成. 线性色散设计的光谱共焦测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26(5): 051010. Liu Qian, Wang Yang, Yang Weichuan, Yuan Daocheng. Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26(5): 051010.

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