强激光与粒子束, 2014, 26 (5): 051010, 网络出版: 2014-06-03
线性色散设计的光谱共焦测量技术
Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective
基本信息
DOI: | 10.11884/hplpb201426.051010 |
中图分类号: | TP212;O439 |
栏目: | 研究快报 |
项目基金: | 中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2010B0203026) |
收稿日期: | 2013-09-11 |
修改稿日期: | 2013-11-28 |
网络出版日期: | 2014-06-03 |
通讯作者: | 刘乾 (liuqianblue@126.com) |
备注: | -- |
刘乾, 王洋, 杨维川, 袁道成. 线性色散设计的光谱共焦测量技术[J]. 强激光与粒子束, 2014, 26(5): 051010. Liu Qian, Wang Yang, Yang Weichuan, Yuan Daocheng. Chromatic confocal microscope with linear dispersive objective[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2014, 26(5): 051010.