半导体光电, 2018, 39 (3): 414, 网络出版: 2018-06-29
大口径细光束自准直测量系统的误差源分析
Analysis of Error Source for Large Aperture Thin Beam Autocollimating Measurement System
基本信息
DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2018.03.024 |
中图分类号: | TH701 |
栏目: | 光电系统 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(Y715251061)、 联合基金项目(Y215421061). |
收稿日期: | 2017-12-25 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2018-06-29 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
赵玉平, 彭川黔, 王劼. 大口径细光束自准直测量系统的误差源分析[J]. 半导体光电, 2018, 39(3): 414. ZHAO Yuping, PENG Chuanqian, WANG Jie. Analysis of Error Source for Large Aperture Thin Beam Autocollimating Measurement System[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2018, 39(3): 414.