激光与光电子学进展, 1983, 20 (2): 44, 网络出版: 2013-07-26
用激光增强刻蚀技术快速加工陶瓷材料
摘要
根据国际商业机器公司的报告，用激光加热和液体刻蚀剂结合，使通常用在微电子学部件和磁记录器中的陶瓷材料的快速和精密微型加工更为方便。用活性离子刻蚀技术需要几小时做的陶瓷加工，用激光增强刻蚀技术仅要几秒钟就可完成。
Abstract
参考文献
郑教敬. 用激光增强刻蚀技术快速加工陶瓷材料[J]. 激光与光电子学进展, 1983, 20(2): 44. 郑教敬. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1983, 20(2): 44.
PDF全文
