双层侧向位置敏感探测器的畸变研究 | 半导体光电 -- 中国光学期刊网

半导体光电, 2012, 33 (6): 779, 网络出版: 2012-12-31

双层侧向位置敏感探测器的畸变研究

Study on Distortion of Duo-lateral Position Sensitive Detector

李田泽 ^*赵艳雷盛翠霞赵云凤暴敏赵敬

作者单位

山东理工大学现代光电技术研究所, 山东淄博 255049

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