中国激光, 2015, 42 (4): 0416001, 网络出版: 2015-02-02
光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计 下载: 729次
Optical Design of Fourier Transform Lens for Measurement of Illumination Pupil of Lithography Tools
基本信息
DOI: | 10.3788/cjl201542.0416001 |
中图分类号: | O439;TB851 |
栏目: | 简讯 |
项目基金: | 国家国际科技合作项目(2011DFR10010) |
收稿日期: | 2014-11-11 |
修改稿日期: | 2014-11-28 |
网络出版日期: | 2015-02-02 |
通讯作者: | 蔡燕民 (caiyanmin@163.com) |
备注: | -- |
蔡燕民, 王向朝, 步扬, 黄惠杰. 光刻机照明光瞳测量用傅里叶变换物镜光学设计[J]. 中国激光, 2015, 42(4): 0416001. Cai Yanmin, Wang Xiangzhao, Bu Yang, Huang Huijie. Optical Design of Fourier Transform Lens for Measurement of Illumination Pupil of Lithography Tools[J]. Chinese Journal of Lasers, 2015, 42(4): 0416001.