强激光与粒子束, 2006, 18 (9): 1486, 网络出版: 2007-01-11   

ZrO2薄膜的改性与抗激光损伤研究

Modification and laser-damage resistance of zirconia thin films
作者单位
同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092
摘要
采用水热合成技术,制备了ZrO2胶体,用旋涂法镀制了单层ZrO2介质膜以及添加了有机粘合剂PVP的复合ZrO2-PVP薄膜.采用X射线衍射(XRD)、椭偏仪、红外分光光度计(FTIR)、原子力显微镜(AFM)等仪器对干凝胶及薄膜进行了性能测试和表征,并用输出波长为1.064 μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统产生的强激光测试其激光损伤阈值.测得ZrO2和ZrO2-PVP薄膜在300 ℃热处理60 min后的激光损伤阈值分别为24.5 J/cm2和37.8 J/cm2.研究表明:添加有机粘合剂后的复合薄膜具有平整的表面结构;有机粘合剂的添加有助于提高薄膜的折射率和激光损伤阈值,其中,ZrO2-PVP 复合薄膜的折射率可高达1.75,激光损伤阈值达到37.8 J/cm2,比ZrO2单层膜的激光损伤阈值提高50%.
Abstract
参考文献

[1] 林振汉.ZrO2材料的特性及在结构陶瓷中的应用和发展[J].稀有金属快报,2004,23(6):6-11.(Lin Z H.Characteristics of zirconium oxide and its applications and development in structure ceramics.Rare Metals Letters,2004,23(6):6-11)

[2] 杨帆,沈军,吴广明,等.ZrO2/SiO2多层膜的化学法制备研 縖J].强激光与粒子束,2003,15(4):326-330.(Yang F,Shen J,Wu G M,et al.Preparation of ZrO2/SiO2 multilayer films via chemical methods.High Power Laser and Particle Beams,2003,15(4):326-330)

[3] Zhang Q Y,Shen J,Wang J,et al.Sol-gel derived ZrO2-SiO2 highly reflective coating[J].International Journal of Inorganic Materials,2000,2(4):319.

[4] Floch H G,Belleville P F.Damage-resistant sol-gel optical coatings for laser at CEV-V[J].J Sol-gel Sci & Technol,1994,695(2):695.

[5] Thomas I M.Preparation of dielectric HR mirrors from colloidal oxide suspensions containing organic polymer binders[C]//Proc of SPIE.1994,2266:50-54.

[6] Roy R.Ceramics by the solution sol-gel route[J].Science,1987,238(12):1664-1669.

[7] Cong Q Z.Polycrystalline planar XRD[M].Beijing:Science Press,1997:89-91.

[8] 李海滨,梁开明,顾守仁.溶胶-凝胶法制备的ZrO2粉中t-ZrO2的稳定性[J].清华大学学报,2001,41(10):13-15.(Li H B,Liang K M,Gu S R.Stability of t-ZrO2 in zirconia powder prepared by sol-gel process.Journal of Tsinghua University,2001,41(10):13-15)

[9] Floch H G,Belleville O F,Priotton J J.Sol-gel optical coatings for lasers,Ⅲ[J].American Ceramic Society Bulletin,1995,74(12):48-54.

罗爱云, 沈军, 杨帆, 吴广明, 周斌, 倪星元. ZrO2薄膜的改性与抗激光损伤研究[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(9): 1486. 罗爱云, 沈军, 杨帆, 吴广明, 周斌, 倪星元. Modification and laser-damage resistance of zirconia thin films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(9): 1486.

本文已被 2 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!