中国激光, 2008, 35 (4): 509, 网络出版: 2008-04-21   

4H-SiC金属-半导体-金属结构紫外探测器的模拟与分析

Simulation and Analysis of 4H-SiC Metal-Semiconductor-Metal Ultraviolet Photodetector
作者单位
西安电子科技大学微电子学院 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室, 陕西 西安 710071
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN 36; TN 303
栏目: 实验技术与元件
项目基金: 装备预研项目(51323040118,513080302)资助课题。
收稿日期: 2007-08-10
修改稿日期: 2007-10-24
网络出版日期: 2008-04-21
通讯作者: 张军琴 (zhangjunqin@sina.com)
备注: --

张军琴, 杨银堂, 卢艳, 娄利飞, 赵妍. 4H-SiC金属-半导体-金属结构紫外探测器的模拟与分析[J]. 中国激光, 2008, 35(4): 509. Zhang Junqin, Yang Yintang, Lu Yan, Lou Lifei, Zhao Yan. Simulation and Analysis of 4H-SiC Metal-Semiconductor-Metal Ultraviolet Photodetector[J]. Chinese Journal of Lasers, 2008, 35(4): 509.

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