阵列波导光栅平坦化的研究

张俪耀; 吴远大; 安俊明; 王玥; 王亮亮; 潘盼; 张家顺; 张晓光; 胡雄伟

doi:doi:10.3788/gzxb20134204.0379

光子学报, 2013, 42 (4): 379, 网络出版: 2013-04-18

阵列波导光栅平坦化的研究

Flat Spectral Response of Arrayed Waveguide Grating

张俪耀 ^1,*吴远大 ^1,2安俊明 ^1,2王玥 ¹王亮亮 ¹潘盼 ¹张家顺 ^1,2张晓光 ¹胡雄伟 ¹

作者单位

¹ 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室, 北京 100083

² 河南仕佳光子科技有限公司, 河南鹤壁 458030

图 & 表

张俪耀, 吴远大, 安俊明, 王玥, 王亮亮, 潘盼, 张家顺, 张晓光, 胡雄伟. 阵列波导光栅平坦化的研究[J]. 光子学报, 2013, 42(4): 379. ZHANG Li-yao, WU Yuan-da, AN Jun-ming, WANG Yue, WANG Liang-liang, PAN Pan, ZHANG Jia-shun, ZHANG Xiao-guang, HU Xiong-wei. Flat Spectral Response of Arrayed Waveguide Grating[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2013, 42(4): 379.