光学学报, 2018, 38 (11): 1105002, 网络出版: 2019-05-09
小型分段式高分辨率中阶梯光栅光谱仪的设计 
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Design of Small-Size High Resolution Echelle Grating Spectrometer with Divided Spectral Coverage
图 & 表
图 3. 光束通过双缝照射到准直镜的光路示意图
Fig. 3. Schematic of beam passing through double-slit and collimating mirror
图 4. 棱镜结构参数、使用参数及双缝间隔设计流程图
Fig. 4. Flow chart of structure parameters, usage parameters of prism, and double-slit interval design
图 5. 光路结构示意图。 (a)210~800 nm; (b) 165~230 nm
Fig. 5. Schematic of optical path configuration. (a) 210-800 nm; (b) 165-230 nm
图 6. 各参考波长的仿真谱线点列图。 (a) 799 nm; (b) 275.8 nm; (c) 226.8 nm; (d) 200 nm; (e) 185.85 nm; (f) 165 nm
Fig. 6. Spot diagrams of simulated spectral lines for different reference wavelengths. (a) 799 nm; (b) 275.8 nm; (c) 226.8 nm; (d) 200 nm; (e) 185.85 nm; (f) 165 nm
图 7. 各参考波长的仿真谱线像差曲线。(a) 799 nm; (b) 275.8 nm; (c) 226.8 nm; (d) 200 nm; (e) 185.85 nm; (f) 165 nm
Fig. 7. Simulated aberration curves for different reference wavelengths.(a) 799 nm; (b) 275.8 nm; (c) 226.8 nm; (d) 200 nm; (e) 185.85 nm; (f) 165 nm
图 8. 二维探测器成像面上仿真谱线图。(a) 210~800 nm; (b) 165~230 nm
Fig. 8. (a) Simulated spectra at image plane of two-dimensional detector.(a) 210-800 nm; (b) 165-230 nm
表 1光谱仪设计参数
Table1. Design parameters of spectrometer
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曹海霞, 赵英飞, 何淼, 王卫东, 王超. 小型分段式高分辨率中阶梯光栅光谱仪的设计[J]. 光学学报, 2018, 38(11): 1105002. Haixia Cao, Yingfei Zhao, Miao He, Weidong Wang, Chao Wang. Design of Small-Size High Resolution Echelle Grating Spectrometer with Divided Spectral Coverage[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(11): 1105002.
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