高频离子源等离子体的光谱诊断 | 强激光与粒子束 -- 中国光学期刊网

强激光与粒子束, 2003, 15 (3): 293, 网络出版: 2006-04-28

高频离子源等离子体的光谱诊断

Spectroscopic diagnosis of RF ion source plasma

唐平瀛 ¹刘铁 ¹丁伯南 ²戴晶怡 ¹

作者单位

¹ 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621900

² 中国工程物理研究院四川绵阳,621900

引用该论文

唐平瀛, 刘铁, 丁伯南, 戴晶怡. 高频离子源等离子体的光谱诊断[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(3): 293.

唐平瀛, 刘铁, 丁伯南, 戴晶怡. Spectroscopic diagnosis of RF ion source plasma[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15(3): 293.

引用列表

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2、溴甲烷的等离子体发射光谱测量强激光与粒子束, 2011, 23 (12): 3391

3、采用发射光谱和朗缪尔探针诊断低温低压氢等离子体强激光与粒子束, 2008, 20 (4): 601

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唐平瀛, 刘铁, 丁伯南, 戴晶怡. 高频离子源等离子体的光谱诊断[J]. 强激光与粒子束, 2003, 15(3): 293. 唐平瀛, 刘铁, 丁伯南, 戴晶怡. Spectroscopic diagnosis of RF ion source plasma[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2003, 15(3): 293.

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