1 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621900
2 中国工程物理研究院四川绵阳,621900
采用发射光谱法研究了高频离子源的等离子体性质.该离子源应用于ZF-200keV中子发生器中,是一种电感耦合型无极环形放电高频离子源.实验采用绝对定标后的光学多道分析系统测定了离子源等离子体在不同阶段氢原子巴耳末谱线系中前三条谱线的强度,并采用部分局部热力学平衡状态的理论,计算出了相应阶段高频离子源等离子体的电子温度、氢原子浓度、氢离子浓度等参数,并进行了简要分析.
离子源 等离子体 发射光谱 Ion source Plasma Emission spectra
1 唐平瀛
2 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621900
3 中国工程物理研究院四川绵阳,621900
从Maxwell方程组出发,推导了高频H型放电离子源放电空间的场分布, 并采用Mafia软件进行了三维实体建模,计算了高频离子源放电击穿前和稳定工作后的电磁场分布,得到了高频离子源放电空间电磁场分布的直观图像.通过比较击穿前高频电场的轴向和环向分量,得出了轴向电场在高频离子源击穿中起主要作用的结论,并进而推导出了高频离子源的击穿判据,得出了气体击穿时离子源击穿电压和放电管内气压的关系,与实验结果符合较好.
高频离子源 击穿判据 场分布 RF ion source Criterion of breakdown Field distribution
中国工程物理研究院电子工程研究院所,四川绵阳621900
密封电真空器件的可靠性尤其重要,而影响其可靠性的主要因素是 真空度.对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真 空度,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法.分析了利用潘宁放电来测量两个电 极的密封电真空器件真空度的工作原理,设计了测试实验装置,初步建立了密封电真空器件的潘宁放电模型,给出了有关实验数据.
潘宁放电 密封电真空器件 真空度 Penning discharge sealed vacuum device vacuum
