多晶硅表面皮秒激光阵列孔绒面制备

贾天代; 冯爱新; 陈欢; 刘勇

doi:doi:10.3788/cjl201845.1002002

中国激光, 2018, 45 (10): 1002002, 网络出版: 2018-10-12

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Fabrication of Array Pores on Polysilicon Surface by Picosecond Laser

贾天代冯爱新陈欢刘勇

作者单位

温州大学机电工程学院, 浙江温州 325035

基本信息

DOI:	10.3788/cjl201845.1002002
中图分类号:	TN249
栏目:	激光制造
项目基金:	国家自然科学基金(51505236)
收稿日期:	2018-04-02
修改稿日期:	2018-05-08
网络出版日期:	2018-10-12
通讯作者:
备注:	--

贾天代, 冯爱新, 陈欢, 刘勇. 多晶硅表面皮秒激光阵列孔绒面制备[J]. 中国激光, 2018, 45(10): 1002002. Jia Tiandai, Feng Aixin, Chen Huan, Liu Yong. Fabrication of Array Pores on Polysilicon Surface by Picosecond Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2018, 45(10): 1002002.