光学 精密工程, 2019, 27 (1): 121, 网络出版: 2019-04-06
精密定位系统的摩擦力建模与补偿
Friction modeling and compensation of precision position system
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20192701.0121 |
中图分类号: | TP273;TH117 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.61573238)、 上海市自然科学基金资助项目(No.13ZR1415800)、 上海市教育委员会科研创新基金资助项目(No.14YZ008) |
收稿日期: | 2018-05-02 |
修改稿日期: | 2018-06-21 |
网络出版日期: | 2019-04-06 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
马立, 王敬萍, 李丰甜, 曾佑轩, 刘志龙. 精密定位系统的摩擦力建模与补偿[J]. 光学 精密工程, 2019, 27(1): 121. MA Li, WANG Jing-ping, LI Feng-tian, ZENG You-xuan, LIU Zhi-long. Friction modeling and compensation of precision position system[J]. Optics and Precision Engineering, 2019, 27(1): 121.