平面肖特基二极管的制作

罗跃川; 赵妍; 沈昌乐; 阎大伟

doi:doi:10.11805/tkyda201504.0544

太赫兹科学与电子信息学报, 2015, 13 (4): 544, 网络出版: 2016-01-26

平面肖特基二极管的制作

Fabrication of planar Schottky barrier diode

罗跃川 ^*赵妍沈昌乐阎大伟

作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳 621999

补充材料

罗跃川, 赵妍, 沈昌乐, 阎大伟. 平面肖特基二极管的制作[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2015, 13(4): 544. LUO Yuechuan, ZHAO Yan, SHEN Changle, YAN Dawei. Fabrication of planar Schottky barrier diode[J]. Journal of terahertz science and electronic information technology, 2015, 13(4): 544.