光学学报, 2017, 37 (1): 0112005, 网络出版: 2017-01-13   

干涉测量圆柱内表面的失调误差分析

Misalignment Analysis of Cylindrical Inner Surfaces in Interferometric Measurement
孙昊 1,2,*韩森 2,3唐寿鸿 2王芳 2,3殷留留 2,3
作者单位
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
3 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
引用该论文

孙昊, 韩森, 唐寿鸿, 王芳, 殷留留. 干涉测量圆柱内表面的失调误差分析[J]. 光学学报, 2017, 37(1): 0112005.

Sun Hao, Han Sen, Tang Shouhong, Wang Fang, Yin Liuliu. Misalignment Analysis of Cylindrical Inner Surfaces in Interferometric Measurement[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(1): 0112005.

引用列表
1、 基于波数域相位补偿的白光干涉测量中国激光, 2022, 49 (11): 1104002

孙昊, 韩森, 唐寿鸿, 王芳, 殷留留. 干涉测量圆柱内表面的失调误差分析[J]. 光学学报, 2017, 37(1): 0112005. Sun Hao, Han Sen, Tang Shouhong, Wang Fang, Yin Liuliu. Misalignment Analysis of Cylindrical Inner Surfaces in Interferometric Measurement[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(1): 0112005.

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