采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

谢永军; 赵福华; 魏伟; 赵小侠; 赵卫

光子学报, 2008, 37 (1): 133, 网络出版: 2008-07-08

采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅

Fabrication of Diffractive Grating Using HfO2-SiO2 Sol-Gel Film

谢永军赵福华魏伟赵小侠赵卫

作者单位

中国科学院西安光学精密机械研究所,瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安,710119

图 & 表

谢永军, 赵福华, 魏伟, 赵小侠, 赵卫. 采用HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅[J]. 光子学报, 2008, 37(1): 133. 谢永军, 赵福华, 魏伟, 赵小侠, 赵卫. Fabrication of Diffractive Grating Using HfO2-SiO2 Sol-Gel Film[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2008, 37(1): 133.