光学学报, 2005, 25 (6): 803, 网络出版: 2006-05-22
微结构特性的光学测试平台
Optical Measurement Platform for Micro-Structures Characterization
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TH741 |
栏目: | 仪器,测量与计量 |
项目基金: | 国家863计划(2004AA404042)资助课题。 |
收稿日期: | 2004-09-20 |
修改稿日期: | 2004-11-05 |
网络出版日期: | 2006-05-22 |
通讯作者: | 胡晓东 (xdhu@tju.edu.cn) |
备注: | -- |
胡晓东, 栗大超, 郭彤, 金翠云, 胡春光, 胡小唐. 微结构特性的光学测试平台[J]. 光学学报, 2005, 25(6): 803. 胡晓东, 栗大超, 郭彤, 金翠云, 胡春光, 胡小唐. Optical Measurement Platform for Micro-Structures Characterization[J]. Acta Optica Sinica, 2005, 25(6): 803.