微结构特性的光学测试平台

胡晓东; 栗大超; 郭彤; 金翠云; 胡春光; 胡小唐

光学学报, 2005, 25 (6): 803, 网络出版: 2006-05-22

微结构特性的光学测试平台

Optical Measurement Platform for Micro-Structures Characterization

胡晓东 ^*栗大超郭彤金翠云胡春光胡小唐

作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072

补充材料

胡晓东, 栗大超, 郭彤, 金翠云, 胡春光, 胡小唐. 微结构特性的光学测试平台[J]. 光学学报, 2005, 25(6): 803. 胡晓东, 栗大超, 郭彤, 金翠云, 胡春光, 胡小唐. Optical Measurement Platform for Micro-Structures Characterization[J]. Acta Optica Sinica, 2005, 25(6): 803.