长景深阵列光学组件缺陷检测系统设计

刘钦晓; 王方; 王渊承

doi:doi:10.3788/aos201737.0322002

光学学报, 2017, 37 (3): 0322002, 网络出版: 2017-03-08

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Design of Long Depth of Field Array Optical Components Defect Detection System

论文大纲

刘钦晓 ^1,*王方 ²王渊承 ²

作者单位

¹ 重庆理工大学电气与电子工程学院, 重庆 400054

² 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川绵阳 621900

光学设计缺陷检测波前编码 optical design defect detection wavefront coding

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摘要

介绍了神光-Ⅲ中阵列光学组件缺陷的长景深检测系统的基本组成。利用在系统光阑处进行的相位调制, 可以实现景深的延拓效果, 从而可以实现在3~13 m物距范围内的大景深成像探测。进一步论述了光学检测系统的设计指标、设计思想、设计结果及其仿真评价。模拟结果显示该系统可以实现3~13 m纵向范围内阵列光学组件缺陷的同时检测。

Abstract

This paper introduces the basic structure of a long depth of field array optical components defect detection system used in SG-Ⅲ. The phase modulation used on the system aperture can realize the depth of field extension effect, which can achieve large depth of field imaging detection from 3~13 m object distance. The performance index, design ideas, design result and simulation evaluation of the optical detection system are expounded. It can achieve the defect simultaneous detection of the array optical components in longitudinal range of 3~13 m by using proposed system.

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