激光与光电子学进展, 1985, 22 (5): 7, 网络出版: 2013-07-26
微电子工业中的激光器及激光加工机
摘要
1984年5~6月，作者有机会考察了美国旧金山及硅谷地区，并参观了规模宏大的半导体博览会，了解到美、日等国将先进的激光技术用于微电子工业，使其取得惊人进展。如80年代激光对准，激光对焦技术促进了分步重复光刻机的发展以及激光图形发生器的发明，使微电子工业进入超大规模集成电路时期。激光还广泛应用于掩模制造、光刻、腐蚀终点检测与硅片检查等各工艺及生产环节，并产生了各种激光加工机。
Abstract
邹海兴. 微电子工业中的激光器及激光加工机[J]. 激光与光电子学进展, 1985, 22(5): 7. 邹海兴. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1985, 22(5): 7.
PDF全文
