报道了一种板条激光器的像散补偿方法,分析了板条激光器像散补偿后的高斯光束特性。
板条激光器 像散补偿 ABCD定律
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 上海机械学院, 上海 200093
本文报道了一种用空间滤波改善光管式光学均匀性的技术,该技术使用空间滤波器滤除入射光束中光场突变部分,提高了光管式光学均匀器的均匀性能。
均匀器 空间滤波器
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
设计了一种新的紫外或深紫外光刻物镜.该物镜与国内外现有的紫外或深紫外光刻物镜相比,既能满足大数值孔径的需要,又能充分利用物镜的视场.采用环形照明,能缓解因增大数值孔径而使焦深缩短的矛盾.
紫外或深紫外光刻 像差平衡 调制传递函数 拦光系数
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学元件,可以进行同轴对准.
紫外和远紫外光刻 准分子激光光刻 亚微米光刻
本文从投影光刻机的图形传递要求出发,导出投影光刻机各主要光学系统的具体要求,并讨论这些参数确定的局限性。
扫描投影光刻机 光学系统
本文得到两维衍射的积分公式,并数字计算了线条的两维光强分布.提出了简化的方角图形传递模型.经投影光学系统的方角图形的圆角半径计算值与实测结果一致.
1984年5~6月，作者有机会考察了美国旧金山及硅谷地区，并参观了规模宏大的半导体博览会，了解到美、日等国将先进的激光技术用于微电子工业，使其取得惊人进展。如80年代激光对准，激光对焦技术促进了分步重复光刻机的发展以及激光图形发生器的发明，使微电子工业进入超大规模集成电路时期。激光还广泛应用于掩模制造、光刻、腐蚀终点检测与硅片检查等各工艺及生产环节，并产生了各种激光加工机。
众所周知，连续环形染料激光器总是以单模运转。遗憾的是，商品型环形染料激光器的调谐速率及范围并不总是满足得了实验上的需要。
采用扫描激光束的电视摄像机可在原子核反应一堆的敌意环境之中工作。这种电视摄像机用于低照度、高分辨的原子核反应堆内部的观察，同时也可调查别的工作人员无法接近和危险区域的情況。在激光扫描相机中，He-Ne激光束光栅扫描整个视场。光电倍增管接收反射回来的光，电学视频存储器再现可在普通显示屏上观察的物体。
氟化氪激光器发出的紫外激光脉冲将触发作为惯性约束核聚变实验甩的粒子束加速器PBFA-II,该装置安装在美国桑迪亚国家实验室。设计这样的触发器是为了产生200兆瓦功率的瞬时光脉冲。激光将同时触发粒子束反应室的36组充气电开关。每一组开关控制来自电容器的5.2兆伏标称电压脉冲，使其释放到中心核聚变反应室。当加速器列阵四周的所有电脉冲同时到达反应室时，它们将加速锂离子然后，这些锂离子束使处于反应室中心的氘和氚原子聚变。
