激光与光电子学进展, 2015, 52 (9): 092203, 网络出版: 2015-08-28
Φ 300 mm平面标准镜高精度支撑关键技术 
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Key Technique in Supporting of Φ 300 mm Aperture Reference Flat Mirror
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop52.092203 |
| 中图分类号: | O436 |
| 栏目: | 光学设计与制造 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项-02 专项基金(2009ZX02205) |
| 收稿日期: | 2015-04-13 |
| 修改稿日期: | 2015-05-15 |
| 网络出版日期: | 2015-08-28 |
| 通讯作者: | 方斌 (hitfangbin@163.com) |
| 备注: | -- |
方斌, 田伟, 王汝冬, 朱岩, 张永凯, 王飞. Φ 300 mm平面标准镜高精度支撑关键技术[J]. 激光与光电子学进展, 2015, 52(9): 092203. Fang Bin, Tian Wei, Wang Rudong, Zhu Yan, Zhang Yongkai, Wang Fei. Key Technique in Supporting of Φ 300 mm Aperture Reference Flat Mirror[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2015, 52(9): 092203.
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