激光与光电子学进展, 2015, 52 (9): 092203, 网络出版: 2015-08-28
Φ 300 mm平面标准镜高精度支撑关键技术 下载: 842次
Key Technique in Supporting of Φ 300 mm Aperture Reference Flat Mirror
图 & 表
方斌, 田伟, 王汝冬, 朱岩, 张永凯, 王飞. Φ 300 mm平面标准镜高精度支撑关键技术[J]. 激光与光电子学进展, 2015, 52(9): 092203. Fang Bin, Tian Wei, Wang Rudong, Zhu Yan, Zhang Yongkai, Wang Fei. Key Technique in Supporting of Φ 300 mm Aperture Reference Flat Mirror[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2015, 52(9): 092203.