激光与光电子学进展, 2013, 50 (3): 030004, 网络出版: 2013-02-01   

点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展

Research Progress of Pinhole Mask Technology of Point Diffraction Interferometer
作者单位
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
引用该论文

于长淞, 向阳. 点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(3): 030004.

Yu Changsong, Xiang Yang. Research Progress of Pinhole Mask Technology of Point Diffraction Interferometer[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(3): 030004.

引用列表
1、 光刻物镜波像差绝对检测技术综述光电工程, 2023, 50 (5): 220001
2、 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法中国激光, 2018, 45 (8): 804008
3、 点衍射干涉检测技术中国光学, 2017, 10 (4): 391
5、 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法中国激光, 2014, 41 (5): 508003

于长淞, 向阳. 点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2013, 50(3): 030004. Yu Changsong, Xiang Yang. Research Progress of Pinhole Mask Technology of Point Diffraction Interferometer[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2013, 50(3): 030004.

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