强激光与粒子束, 2007, 19 (10): 1739, 网络出版: 2008-02-18   

CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates
作者单位
1 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054
2 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
引用该论文

李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(10): 1739.

李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(10): 1739.

引用列表
1、 激光清洗研究综述(特邀)红外与激光工程, 2023, 52 (2): 20220835
2、 熔石英表面损伤修复点的损伤概率强激光与粒子束, 2012, 24 (6): 1414
3、 CO2激光对熔石英表面小尺寸损伤的修复强激光与粒子束, 2010, 22 (9): 2209
4、 CO2激光预处理参数对石英基片表面粗糙度的影响强激光与粒子束, 2010, 22 (5): 1031
5、 用激光清洗金膜表面硅油污染物强激光与粒子束, 2010, 22 (5): 968

李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(10): 1739. 李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(10): 1739.

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